[发明专利]一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置

权利要求书

1.一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于，包括：

第一滑台安装板和第二滑台安装板，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的一端铰接；

设于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；

所述第一滑台安装板上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台，所述第一滑台能够在所述第一滑台安装板上滑动；所述第二滑台安装板上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台，所述第二滑台能够在所述第二滑台安装板上滑动，所述第一滑台的滑动方向和所述第二滑台的滑动方向在空间上垂直。

2.根据权利要求1所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于：

所述倾角调节组件包括滑杆和在所述滑杆上滑动的滑块，所述滑块上分别铰接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的另一端与所述第一滑台安装板铰接，所述第二连杆的另一端与所述第二滑台安装板铰接；

所述滑块在所述滑杆上滑动分别带动所述第一连杆和所述第二连杆转动，以调节所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板间的夹角。

3.根据权利要求2所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于：

所述滑杆设于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的夹角的角平分线上，所述第一连杆和所述第二连杆在所述滑块上相对设置，所述第一连杆和所述第二连杆的长度相等。

4.根据权利要求3所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于，所述滑杆的一端设有手柄，所述手柄与所述滑杆可拆卸的固定连接。

5.根据权利要求4所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板经旋转轴铰接，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板分别设有用于安装所述旋转轴的支座。

6.根据权利要求5所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于，所述滑杆具体为丝杠，所述滑块具体为螺母，所述旋转轴上套设有滑杆固定套，所述丝杠的一端经转动轴承设于所述滑杆固定套内。

7.根据权利要求6所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于：

所述第一滑台的滑动方向垂直于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的旋转轴线，所述第二滑台的滑动方向平行于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的旋转轴线。

8.根据权利要求1-7任一项所述的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，其特征在于：

所述第一滑台和所述第二滑台均分别包括基座和设于所述基座上且相对滑动的动平台，所述动平台螺纹连接有滑台丝杠，所述滑台丝杠的一端固接有从动锥齿轮，所述基座上设有滑动手柄，所述滑动手柄的一端设有用于与所述从动锥齿轮配合的主动锥齿轮。