[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法

权利要求书

1.一种石英玻璃坩埚，其特征在于，

所述石英玻璃坩埚具有：底部；底部拐角，所述底部拐角形成在所述底部的周围；以及侧部，所述侧部从所述底部拐角向上方延伸，

所述石英玻璃坩埚具有坩埚上端区域，

所述坩埚上端区域是从坩埚上端起向下方5mm以上且将上端的壁厚加上10mm而算出的长度以下的区域，并且所述上端的壁厚为10mm以上且18mm以下，

所述坩埚上端区域包含由不透明外层和透明内层形成的两层结构，所述不透明外层包含天然原料石英玻璃，所述透明内层包含天然原料石英玻璃或者合成原料石英玻璃，

从所述坩埚上端区域的下端起至少包含三层结构，所述三层结构由外层、不透明中间层以及所述透明内层形成，所述外层包含添加了结晶化促进剂的石英玻璃，所述不透明中间层从所述坩埚上端区域的不透明外层连续地形成。

2.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

所述添加了结晶化促进剂的石英玻璃含有Al和Ca，所述添加了结晶化促进剂的石英玻璃中的Al浓度为9wtppm以上且20wtppm以下，Ca浓度为0.1wtppm以上且0.6wtppm以下，Al和Ca的Al/Ca摩尔浓度比为15≤Al/Ca≤200。

3.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

所述石英玻璃坩埚在包含所述添加了结晶化促进剂的石英玻璃的外层的外侧进一步层叠包含天然原料石英玻璃的不透明外层，并且所述石英玻璃坩埚包含四层结构。

4.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

所述坩埚上端区域包含由不透明外层、透明内层以及第一外层形成的三层结构，所述不透明外层包含天然原料石英玻璃，所述透明内层包含天然原料石英玻璃或者合成原料石英玻璃，所述第一外层包含未添加结晶化促进剂的石英玻璃，

从所述坩埚上端区域的下端起包含四层结构，所述四层结构由所述三层结构以及在所述第一外层的外侧层叠的第二外层形成，所述第二外层包含所述添加了结晶化促进剂的石英玻璃。