[发明专利]一种VCSEL测量装置

说明书

本发明涉及VCSEL参数测量技术领域，提供了一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台，还包括架设于所述测量台上方的支撑架、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架上。本发明的通过将多个参数测量组件集成在一起，通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。

技术领域

本发明涉及VCSEL参数测量技术领域，具体为一种VCSEL测量装置。

背景技术

目前，VCSEL芯片进行测量，因为垂直方向物理空间限制，通常一个装置只能测量一个参数，需要测量多个参数时，要重新更换设备，造成设备的重复购买，进而增加了成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种VCSEL测量装置，通过将多个参数测量组件集成在一起，并通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。

为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台，还包括架设于所述测量台上方的支撑架、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架上。

进一步，所述调整机构包括安装在所述支撑架上的扇形转盘以及用于驱使所述扇形转盘旋转的驱动件，沿所述扇形转盘的弯曲方向各所述参数测量组件依次布设在所述扇形转盘上。

进一步，所述扇形转盘上设有沿所述扇形转盘的弯曲方向布设的导轨槽，每一所述参数测量组件均包括用于测量的测量件以及设于所述导轨槽内的导轨，所述测量件安装在所述导轨上。

进一步，所述导轨包括叠设且可互相滑动的两层板、用于调整两层板的相对位置的移动旋钮以及用于锁定两层板的位置的固定旋钮，所述测量件安装在其中一层板上。

进一步，所述驱动件为步进电机，所述步进电机的旋转轴与所述扇形转盘的转动轴线同轴设置。

进一步，其中一个所述参数测量组件包括积分球，所述积分球可拆卸安装在所述调整机构上。

进一步，其中一个所述参数测量组件包括光纤以及光谱仪，所述光纤可拆卸安装在所述调整机构上，且所述光纤的输出端与所述光谱仪连接。

进一步，其中一个所述参数测量组件包括相机，所述相机可拆卸安装在所述调整机构上。

进一步，还包括用于收集各所述参数测量组件测得的参数的计算机。

进一步，还包括可与所述芯片连接的探针以及与所述探针连接的源表，所述探针连接所述源表的正极，所述测量台连接所述源表的负极。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、通过将多个参数测量组件集成在一起，并通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。

2、使用计算机控制积分球、步进电机、源表和相机，在计算机上使用软件对测量完成的数据进行分析和整理，便于科学统计。