[发明专利]一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置

权利要求书

1.一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，包括：键合基板(1)和设置在所述键合基板(1)上的支撑框架(4)，所述支撑框架(4)内侧设置有驱动质量块(5)，所述驱动质量块(5)内侧设置有检测质量块(6)，所述驱动质量块(5)的边角通过驱动组合梁组件与外部的支撑框架(4)连接，所述检测质量块(6)的边角通过检测组合梁组件与驱动质量块(5)连接，所述质量检测快(6)中心设置有隧道磁阻元件(7)，其特征在于：

还包括：压电薄膜驱动电极组件和检测电极(20)，所述压电薄膜驱动电极组件设置在驱动组合梁组件上，所述压电薄膜驱动电极组件包括第一压电薄膜驱动电极(22)、第二压电薄膜驱动电极(23)、第三压电薄膜驱动电极(24)、第四压电薄膜驱动电极(25)，所述第一压电薄膜驱动电极(22)、第二压电薄膜驱动电极(23)、第三压电薄膜驱动电极(24)、第四压电薄膜驱动电极(25)分别设置在驱动组合梁组件上，所述检测电极(20)设置在靠近所述第二压电薄膜驱动电极(23)和第三压电薄膜驱动电极(24)的位置，所述隧道磁阻元件(7)通过信号检测导线(21)分别连接所述检测电极(20)。

2.根据权利要求1所述的压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，其特征在于，所述驱动组合梁组件包括：第一驱动组合梁(8)、第二驱动组合梁(9)、第三驱动组合梁(10)、第四驱动组合梁(11)，所述第一驱动组合梁(8)、第二驱动组合梁(9)、第三驱动组合梁(10)、第四驱动组合梁(11)分别设置在所述驱动质量块(5)的四个边角处，所述第一驱动组合梁(8)、第二驱动组合梁(9)、第三驱动组合梁(10)、第四驱动组合梁(11)结构相同，均由第一驱动梁(26)、第二驱动梁(27)和驱动梁连接块(28)组成，第一驱动梁(26)、第二驱动梁(27)分别位于驱动梁连接块(28)两侧并相互平行，所述第一驱动梁(26)一端与所述驱动质量块(5)连接，所述第一驱动梁(26)另一端与支撑框架(4)连接，所述第二驱动梁(27)一端与所述驱动质量块(5)连接，所述第二驱动梁(27)另一端与所述驱动梁连接块(28)的一端连接，所述驱动梁连接块(28)的另一端与支撑框架(4)连接。

3.根据权利要求1所述的压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，其特征在于，所述检测组合梁组件组件包括：第一检测组合梁(12)、第二检测组合梁(13)、第三检测组合梁(14)、第四检测组合梁(15)，所述第一检测组合梁(12)、第二检测组合梁(13)、第三检测组合梁(14)、第四检测组合梁(15)分别没置在所述检测质量块(6)上靠近边角处，所述第一检测组合梁(12)，第二检测组合梁(13)，第三检测组合梁(14)、第四检测组合梁(15)结构相同，均由第一检测梁(29)、第二检测梁(30)以及检测梁连接块(31)组成，所述检测梁连接块(31)一端的两侧设置有突出部，整体呈“T”形，所述第一检测梁(29)和第二检测梁(30)分别位于检测梁连接块(31)两侧并分别与突出部连接，所述第一检测梁(29)、第二检测梁(30)的另一端与所述连接检测质量块(6)连接，所述检测梁连接块(31)的另一端与所述驱动质量块(5)连接。

4.根据权利要求1所述的压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，其特征在于，所述第一压电薄膜驱动电极(22)、第二压电薄膜驱动电极(23)、第三压电薄膜驱动电极(24)、第四压电薄膜驱动电极(25)分别对应设置在所述驱动质量块(5)的四个边角处的第一驱动梁(26)上。