[发明专利]一种微通道散热器及其制作方法

权利要求书

1.一种制作基于微通道散热器的端面泵浦激光器结构的方法，包括：

提供衬底，并对衬底进行清洗和烘干；

在衬底上形成微流道结构及微流道分流结构互补形状；

在衬底上具有微流道结构及微流道分流结构互补形状面电镀金属形成微通道散热器的金属底座；

释放获得金属底座；

提供微通道散热器的盖板；

在盖板上形成工质入口和工质出口；

提供激光晶体；

在激光晶体泵浦端面上的泵浦线以外位置形成导热条；

将金属底座与盖板键合形成微通道散热器；以及

在形成了导热条的激光晶体的上下散热面各组装一个微通道散热器。

2.如权利要求1所述的制作基于微通道散热器的端面泵浦激光器结构的方法，其特征在于：

所述在衬底上形成微流道结构及微流道分流结构互补形状是通过图形化刻蚀工艺形成；

所述释放获得金属底座是通过对衬底材料的牺牲腐蚀获得；

所述在盖板上形成工质入口和工质出口是通过激光通孔或刻蚀形成；以及

所述将金属底座与盖板键合形成微通道散热器是通过铜锡等温凝固键合形成。

3.一种通过权利要求1或2所述的方法形成的基于微通道散热器的端面泵浦激光器结构，包括：

第一微通道散热器；

第二微通道散热器；

激光晶体，所述第一微通道散热器设置在所述激光晶体的第一面，所述第二微通道散热器设置在所述激光晶体与所述第一面相对的第二面；以及

导热条，所述导热条覆盖在所述激光晶体泵浦端面上的泵浦线以外位置，且与所述第一微通道散热器和/或所述第二微通道散热器相连。

4.如权利要求3所述的基于微通道散热器的端面泵浦激光器结构，其特征在于，所述第一微通道散热器和/或所述第二微通道散热器进一步包括：

盖板，所述盖板设置有工质入口和工质出口；

金属底座，所述金属底座密封设置在所述盖板下方；

第一微流道结构，所述第一微流道结构沿第一方向设置在所述盖板和所述金属底座密封体的内部；

第二微流道结构，所述第二微流道结构沿第二方向设置在所述盖板和所述金属底座密封体的内部，且与所述第一微流道结构、所述工质入口、所述工质出口连通；以及

微流道分流结构，所述微流道分流结构设置在所述盖板和所述金属底座密封体的内部，且与所述第一微流道结构连通。