[发明专利]一种垂直外腔面发射激光器

权利要求书

1.一种垂直外腔面发射激光器，其特征在于，包括：

准直透镜；

位于所述准直透镜第一侧的激光器发射芯片，所述激光器发射芯片包括由下至上依次层叠的设有第一出光口的第一电极、第一接触层、有源层、第二接触层、设有第二出光口的第二电极，且所述第一出光口位于所述准直透镜所述第一侧的焦面上；

位于所述准直透镜第二侧的衍射光栅，所述第一侧与所述第二侧相背；

位于所述激光器发射芯片远离所述准直透镜一侧的第一顶腔镜或者位于所述激光器发射芯片中的第二顶腔镜。

2.如权利要求1所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，当包括所述第二顶腔镜时，所述第二顶腔镜为分布式布拉格反射镜或者高反射介质镜，其中，所述高反射介质镜包括层叠的多层介质膜。

3.如权利要求1所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，当包括所述第一顶腔镜时，所述第一顶腔镜为平凹透镜。

4.如权利要求3所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，还包括：

位于所述平凹透镜屈光面的宽带高反镀膜。

5.如权利要求4所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，还包括：

位于所述平凹透镜与所述屈光面相对的平面的宽带减反镀膜。

6.如权利要求1至5任一项所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，还包括：

位于所述第一出光口与所述第一接触层接触表面的宽带减反镀膜。

7.如权利要求6所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，还包括：

位于所述准直透镜表面的宽带减反镀膜。

8.如权利要求7所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，所述准直透镜为圆形非球面透镜。

9.如权利要求8所述的垂直外腔面发射激光器，其特征在于，所述衍射光栅为闪耀光栅或者全息光栅。