[发明专利]供电构造和等离子体处理装置

权利要求书

1.一种供电构造，其具备：

第1连接构件组，其由多个连接构件构成，该多个连接构件以对配置于等离子体处理装置用的处理容器内的聚焦环施加偏置电位的方式沿着所述聚焦环的周向配置；以及

第1端子区域，其为环状，该第1端子区域与多个所述连接构件电连接起来。

2.根据权利要求1所述的供电构造，其中，

所述第1端子区域与施加固定电位的所述处理容器的内壁面分开地配置。

3.根据权利要求1或2所述的供电构造，其中，

该供电构造具备：

第2端子区域，其为环状，该第2端子区域与所述第1端子区域分开，并与所述第1端子区域电连接起来；以及

第2连接构件组，其由与所述第1端子区域和所述第2端子区域连接的多个连接构件构成。

4.根据权利要求3所述的供电构造，其中，

所述第1连接构件组的连接构件的位置与所述第2连接构件组的连接构件的位置在俯视时沿着所述聚焦环的周向偏离。

5.一种等离子体处理装置，其具备权利要求1～4中任一项所述的供电构造。