[发明专利]一种六方锰酸钇铁电薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201911273480.8 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111099661A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李雍;田孟伟;郝喜红;孙宁宁;王光成 | 申请（专利权）人： | 内蒙古科技大学 |
| 主分类号： | C01G45/12 | 分类号： | C01G45/12;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 魏星 |
| 地址： | 014010 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 六方锰酸钇铁电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将硝酸钇溶解于乙二醇甲醚溶剂得到透明液体A，并将硝酸锰溶解于乙二醇甲醚溶剂中得到透明液体B；
(2)将透明液体B倒入透明液体A中，搅拌均匀，加入柠檬酸，继续搅拌得到锰酸钇前驱胶体；
(3)将步骤(2)得到的锰酸钇前驱胶体旋涂在Si基底上，得到锰酸钇湿膜；
(4)对锰酸钇湿膜进行热处理，得到锰酸钇干膜；
(5)将锰酸钇干膜在1000-1100℃下进行热处理，得到完全结晶化的锰酸钇铁电薄膜。
2.根据权利要求1所述的六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，所述硝酸钇、硝酸锰、柠檬酸的摩尔比为1:1:2。
3.根据权利要求1所述的六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，所述锰酸钇前驱胶体的密度为0.06-0.15mol/L。
4.根据权利要求1所述的六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)的热处理包括三个阶段：第一阶段为在140-160℃下热处理3-7min；第二阶段为在400-420℃下热处理8-12min；第三阶段为在580-620℃下热处理2-5min。
5.根据权利要求1或4所述的六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，制备过程中步骤(3)至步骤(4)反复进行多次直至所述锰酸钇干膜的厚度达到280nm。
6.根据权利要求1所述的六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(5)中热处理的时间为15-30min。
7.根据权利要求1所述的六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法，其特征在于，将所述锰酸钇前驱胶体进行旋涂之前还经过过滤处理。
8.一种权利要求1-7任意一项所述六方锰酸钇铁电薄膜的制备方法制备得到的六方锰酸钇铁电薄膜。
9.根据权利要求8所述的六方锰酸钇铁电薄膜，其特征在于，所述六方锰酸钇铁电薄膜的晶粒的粒径为245-255nm。
10.权利要求8或9所述六方锰酸钇铁电薄膜在平行电极或叉指电极上的应用。
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