[发明专利]显微镜

权利要求书

1.一种显微镜(2)，包括：产生光束(7)的光源(4)；包括分束器(14)的光束引导系统(6)，其中所述分束器(14)被配置为将所述光束(7)分成穿过所述光束引导系统的参考波束(7a)和样本照明波束(7b)，至少一个可枢转操作的方向改变反射镜(TM1、TM2、TM3、TM4)指引所述参考波束(7a)和所述样本照明波束(7b)，从而引导所述参考波束和样本波束沿着其相应的光路；被配置为在所述样本照明波束的路径中接纳所要观察的样本(1)的样本观察区(17)；被配置为在所述样本照明波束穿过所述样本观察区之后使所述参考波束和所述样本照明波束重新聚合的波束重聚器(16)；被配置为取得所述波束重聚器下游的光束的至少相位和强度值的光感测系统(8)；以及控制系统，其特征在于，所述控制系统被配置为生成用于自动控制所述至少一个可枢转操作方向改变反射镜的角度的反射镜角度控制信号，所述反射镜角度控制信号至少部分地基于借助于所述控制系统的反馈环从所述光感测系统接收到的并由所述光束生成的信号，所述至少一个可枢转操作反射镜(TM1)位于所述样本照明波束的路径中，以校正所述样本照明波束的光路的偏离，和/或调整该波束的样本照明角度。

2.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述反射镜角度控制信号所基于的、从所述光感测系统接收并且由所述光束生成的所述信号包括通过所述光感测系统接收的光束的强度、相干性、干涉条纹频率和相位中的任意一个或多个。

3.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述可枢转操作反射镜(TM1)基本上位于所述样本观察区之上，与显微镜物镜(37)的光轴对齐。

4.根据权利要求1所述的显微镜，还包括位于所述参考波束的路径中至少一个可枢转操作反射镜(TM2、TM3、TM4)。

5.根据权利要求3或4所述的显微镜，其中，位于所述参考波束的路径中的所述可枢转操作反射镜(TM2、TM3、TM4)位于光程差(OPD)调整装置(32)之前、之后或者作为该光程差(OPD)调整装置(32)的一部分，被配置为校正所述参考波束在所述光程差(OPD)调整装置中的偏离。

6.根据权利要求1所述的显微镜，还包括位于光程差(OPD)调整装置(32)和所述波束重聚器之间的至少一个可枢转操作反射镜(TM2)，被配置用于创建和调整通过所述光感测系统捕获的干涉测量信号。

7.根据权利要求1所述的显微镜，还包括位于所述参考波束的光路中的光程差(OPD)调整装置(32)，所述光程差(OPD)调整装置被配置为调整所述参考波束相对于所述样本照明波束的光程长度，所述光程差(OPD)调整装置包括第一可枢转调整光偏离元件(42，30a)和第二可枢转调整光偏离元件(44，30c)，它们每个包括位于所述参考波束的所述光路中的透明材料(42，44)或反射材料(30a，30b，30c)，由此所述光偏离元件的倾斜角度被所述控制系统控制，以调整所述光程差。

8.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述可枢转操作反射镜是MEMS类型部件。

9.根据权利要求1所述的显微镜，包括被配置为指引所述样本照明波束(7b)通过所述样本观察区并进入显微镜物镜(37)的样本照明装置(28)，所述样本照明装置(28)包括被配置为指引所述样本照明波束相对于所述显微镜物镜的光轴(A)处于非零照明角度(α)的反射镜系统(34)以及被配置为使成一定角度的样本照明波束围绕所述光轴旋转的旋转波束系统。

10.根据权利要求1所述的显微镜，还包括被配置为接收来自所述光感测系统(8)的多个图像帧数据的数据处理系统(10)，所述多个图像帧是针对所述样本照明波束围绕所述显微镜物镜光轴的至少360°旋转生成的。

11.根据权利要求10所述的显微镜，其中，由所述光感测系统和所述数据处理系统每360°捕获的帧的数量大于10。