[发明专利]一种空间太阳电池用原子氧防护银互连片及制备方法

权利要求书

1.一种空间太阳电池用原子氧防护银互连片；由银箔材质制成；其特征在于，在所述银箔的上下表面均镀有钯层；在所述钯层的表面均镀有金层。

2.根据权利要求1所述的空间太阳电池用原子氧防护银互连片，其特征在于，所述钯层的厚度范围是0.5μm-1μm。

3.根据权利要求1所述的空间太阳电池用原子氧防护银互连片，其特征在于，所述金层的厚度范围是1.5μm-2.5μm。

4.一种制备权利要求1所述空间太阳电池用原子氧防护银互连片的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在银箔表面沉积钯层作为隔离保护层；

S2、在钯层表面沉积金层作为原子氧防护层。

5.根据权利要求4所述空间太阳电池用原子氧防护银互连片的制备方法，其特征在于，在S1之前还包括：对银箔进行预处理；具体为：

首先清洗银箔；

然后将银箔铺平固定在蒸发源正上方的工件盘上，当真空室内的真空度达到1×10^-3Pa时开启离子源，进行银箔表面的预清洁；所述离子源为霍尔离子源，工作气体为氩气；

随后通入氩气后将真空室内压强控制在1×10^-2Pa-2×10^-2Pa，阳极加速电压80V-200V，电子束流2.5A-6.5A；依靠离子源发射出的氩原子去除银箔表面的杂质和沾污；工件盘旋转速度为5r/min-10r/min，预处理时长为5min-10min。

6.根据权利要求4或5所述空间太阳电池用原子氧防护银互连片的制备方法，其特征在于，在所述S1和S2中，离子源为开启状态。

7.根据权利要求4或5所述空间太阳电池用原子氧防护银互连片的制备方法，其特征在于，所述所述S1具体为：蒸镀钯层的厚度为0.5μm-1μm，沉积速率为0.5nm/s-1nm/s。

8.根据权利要求4或5所述空间太阳电池用原子氧防护银互连片的制备方法，其特征在于，所述所述S2具体为：蒸镀金层的厚度为1.5μm-2.5μm，沉积速率为0.5nm/s-1nm/s。