[发明专利]掩模对准机用的基板升降装置

说明书

本发明涉及一种掩模对准机用的基板升降装置，该装置包括：可变升降销，用于支撑基板；销板，设置成可升降；升降部，用于使所述销板升降；可变销板，结合有所述可变升降销；以及切换部，结合于所述可变销板，其中，所述切换部包括切换机构，所述切换机构以能够在支撑位置与隔开位置之间进行旋转的方式结合于切换主体，所述支撑位置是所述切换机构被所述销板支撑，使得所述可变销板随着所述销板升降而一同升降的位置，而所述隔开位置是所述切换机构从所述销板隔开，以使所述销板相对于所述可变销板独立地升降的位置。

技术领域

本发明涉及在掩模对准机中用于使基板升降的基板升降装置。

背景技术

通常，液晶显示装置(LCD，Liquid Crystal Display)、有机发光显示装置(OLED，Organic Light Emitting Diodes)、等离子显示板(PDP，Plasma Display Panel)、电泳显示装置(EPD，Electrophoretic Display)等显示装置以及太阳能电池等产品的制造需要经过多种工艺。

这种制造工艺包括对基板蒸镀薄膜的蒸镀工序、对蒸镀于基板的薄膜进行蚀刻的蚀刻工序等。通过蒸镀工序、蚀刻工序等在基板形成所需形态的薄膜时，会利用掩模(Mask)。此时，会在基板与掩模彼此粘合的状态下，进行对于基板的蒸镀工序、蚀刻工序等。

其中，在进行对准基板与掩模之间的位置并粘合基板与掩模的工序时，会利用掩模对准机。为了对准基板与掩模之间的位置，掩模对准机包括基板升降装置。韩国公开专利公报第10-2014-0021832号(公开日：2014年2月21日)公开了关于掩模对准机的背景技术。

图1是现有技术的基板升降装置的概略俯视图，图2及图3是示例性地示出一般的基板和掩模的概略仰视图。

参考图1至图3，现有技术的基板升降装置100包括通过升降单元(未示出)升降的销板110及结合于所述销板110的升降销120。

所述升降销120用于支撑所述基板200。所述升降销120在支撑所述基板200的状态下，随着所述销板110升降而一同升降，并使所述基板200升降。所述销板110结合有多个所述升降销120。多个所述升降销120以彼此位于不同位置的方式结合于所述销板110，从而支撑所述基板200的彼此不同的位置。

其中，在所述基板200中，被多个所述升降销120支撑的部分无法用作有效区域。因此，在所述基板200中，为了增大有效区域的大小，多个所述升降销120会配置为支撑所述基板200中被掩模300掩盖的部分。

然而，如图2及图3所示，在所述基板200中，有效区域会根据产品的种类、大小等发生变更。因此，粘合于所述基板200的掩模300的形态也会发生变更，所以多个所述升降销120需要变更位置，以便与所述有效区域及所述掩模300的形态变更相对应。

为此，现有技术的基板升降装置100形成为多个所述升降销120能够对所述销板110进行拆装。然而，现有技术的基板升降装置100需要由工人直接手动地对需要位置变更的多个升降销110进行拆装操作。

例如，当对准如图2所示的基板200与掩模300之间的位置时，工人需要直接手动地将多个升降销120结合于所述销板110的第一区域111。然后，当变更为如图3所示的基板200和掩模300时，工人需要直接手动地从所述销板110的第一区域111分离多个升降销120，并将多个升降销120结合于所述销板110的第二区域112。

因此，现有技术的基板升降装置100存在的问题在于，不仅变更所述升降销120的位置的变更操作存在困难，而且由于变更所述升降销120的位置的变更操作所耗费的时间增加，导致运行率降低。

发明内容

技术问题