[发明专利]一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法

权利要求书

1.一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法，其特征在于，步骤如下：

1)确定太赫兹时域光谱仪探头与制备热障涂层前的被测工件待检测区域的相对位置及测量参数；

2)根据设定好的参数，依次检测、记录不同位置处太赫兹时域光谱波形；

3)取下被测件，在被测件表面制备50～400μm厚的热障涂层，热障涂层为一层或多层；

4)按照第2步测量位置和测量参数，测量、记录被测件太赫兹时域光谱波形；

5)根据同一被测位置处，制备热障涂层前后太赫兹反射波形计算两个波形相位时间差Δt，通过下面公式计算该位置处热障涂层厚度d：

d＝c·|Δt|/2·n

c为光在空气中的传播速度；n为太赫兹波在空气中的折射率。

2.根据权利要求1所述的一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法，其特征在于，检测对象包含热障涂层金属粘结层、陶瓷层及其总厚度，或者测量涂层本身减薄情况；测量涂层本身减薄具体步骤为：涂层使用减薄后，重复步骤4)，进行测量，根据步骤5)中的公式计算涂层残余厚度或减薄量。

3.根据权利要求1所述的一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法，其特征在于，步骤2)和步骤4)太赫兹时域光谱系统检测探头与被测件的相对位置误差＜0.01mm，且太赫兹光波垂直于待测表面。

4.根据权利要求1所述的一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法，其特征在于，太赫兹光斑直径＜3mm，且焦斑位置位于待测区域表面。

5.根据权利要求1所述的一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法，其特征在于，相位时间差Δt为两次记录时域波形的第1个波形的相位时间差的绝对值。

6.根据权利要求1所述的一种基于反射式太赫兹时域光谱技术无损检测热障涂层厚度的方法，其特征在于，太赫兹时域光谱系统发射的太赫兹脉冲频率范围在0.1-5THz内。