[发明专利]一种氟化氢供料的自动控制装置

权利要求书

1.一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于，该装置包括：

截止阀一(1)、质量流量计(2)、截止阀二(3)、截止阀三(4)、截止阀四(5)、气动阀一(6)、截止阀五(7)、截止阀六(8)、气动阀二(9)、截止阀七(10)、球阀三(11)、电磁阀二(12)、球阀一(14)、电磁阀一(15)、球阀二(16)、电解槽一(171)、电解槽二(172)、DCS自控模块(18)；

从氟化氢入口处依次设置截止阀一(1)、质量流量计(2)、截止阀二(3)；

在截止阀一(1)、质量流量计(2)、截止阀二(3)之间并联设置截止阀三(4)；

截止阀二(3)之后分为两路，一路依次设置截止阀四(5)、气动阀一(6)、截止阀五(7)；另一路依次设置截止阀六(8)、气动阀二(9)、截止阀七(10)；

气动阀一(6)、气动阀二(9)与DCS自控模块(18)连接，当单台电解槽氟化氢供料量达到要求后切换至下一台电解槽，安装于电解槽供料管线的进口位置；

第一路氮气反吹管线从氮气反吹入口处依次设置球阀一(14)、电磁阀一(15)、球阀二(16)；

第二路氮气反吹管线从氮气反吹入口处依次设置球阀三(11)、电磁阀二(12)、球阀四(13)；

球阀一(14)、球阀二(16)、球阀三(11)、球阀四(13)用于系统发生泄漏或进行设备故障时手动切断系统通道；

电磁阀一(15)、电磁阀二(12)与DCS自控模块(18)连接；

球阀四(13)的出口与截止阀五(7)的出口管道汇合为电解槽一进料管道后与电解槽一(171)连接；

球阀二(16)的出口与截止阀七(10)的出口管道汇合为电解槽二进料管道后与电解槽二(172)连接；

电解槽一(171)、电解槽二(172)与DCS自控模块(18)连接，向DCS自控模块(18)反馈电解槽一(171)、电解槽二(172)的电流信息。

2.如权利要求1所述的一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于：截止阀一(1)、截止阀二(3)、截止阀三(4)、截止阀四(5)、截止阀五(7)、截止阀六(8)、截止阀七(10)用于系统发生泄漏或进行设备故障时手动切断系统通道。

3.如权利要求1所述的一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于：质量流量计(2)用于计量氟化氢的加入量，安装于氟化氢气体供料管线的进口位置。

4.如权利要求1所述的一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于：质量流量计(2)与DCS自控模块(18)连接，向DCS自控模块(18)反馈氟化氢供料情况。

5.如权利要求1所述的一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于：通过DCS自控模块(18)控制气动阀一(6)、气动阀二(9)的切换。

6.如权利要求1所述的一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于：通过DCS自控模块(18)控制电磁阀一(15)、电磁阀二(12)的开关。

7.如权利要求1所述的一种氟化氢供料的自动控制装置，其特征在于：当单台电解槽氟化氢供料量达到要求后控制气动阀一(6)、气动阀二(9)自动切换，对电解槽供料管线进行氮气反吹。

8.截止阀一(1)、截止阀二(3)、截止阀三(4)、截止阀四(5)、截止阀五(7)、截止阀六(8)、截止阀七(10)用于系统发生泄漏或进行设备故障时手动切断系统通道；质量流量计(2)用于计量氟化氢的加入量，安装于氟化氢气体供料管线的进口位置；质量流量计(2)与DCS自控模块(18)连接，向DCS自控模块(18)反馈氟化氢供料情况；通过DCS自控模块(18)控制气动阀一(6)、气动阀二(9)的切换；通过DCS自控模块(18)控制电磁阀一(15)、电磁阀二(12)的开关；当单台电解槽氟化氢供料量达到要求后控制气动阀一(6)、气动阀二(9)自动切换，对电解槽供料管线进行氮气反吹。