[发明专利]一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法有效
| 申请号： | 201911254630.0 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110993467B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 范亚松;胡文景;梁田;王玉春;马静;赵请;张毅;张坤 | 申请（专利权）人： | 南京三乐集团有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J23/04;B08B3/12;B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211800 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微波 真空 电子器件 阴极 复式 表面 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将阴极进行湿法处理；
(2)将湿法处理完成后的阴极进行干燥处理；
(3)将干燥后的阴极置入马弗炉中, 氢气气氛，温度设置900℃-1050℃，时间为0.5h-1h进行净化还原退火处理；
(4)将退火处理后的阴极进行等离子蚀刻, 所述等离子蚀刻具体为将阴极放在磁控溅射设备中，本地真空1×10-4 Pa，刻蚀电压1100V,刻蚀电流为200mA-400mA，刻蚀时间为15min-40min。
2.根据权利要求1所述的一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法，其特征在于，步骤(1)中所述湿法处理包括以下步骤：
(a)将阴极在去离子水中超声清洗5min-25min，超声仪器的功率为50W-200W；
(b)将阴极在丙酮中超声清洗3min-5min，超声仪器的功率选择为50W-200W；
(c)将阴极在酒精中超声清洗5min-20min，超声仪器的功率选择为50W-200W。
3.根据权利要求1所述的一种微波真空电子器件用阴极的复式表面处理方法，其特征在于，步骤(2)中所述干燥处理为将湿法处理后的阴极置入烘箱中，所述烘箱温度为100℃-120℃，烘干时间为0.5h-1h。
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