[发明专利]一种薄壁件的装夹结构及薄壁件的装夹方法和用途

权利要求书

1.一种薄壁件的装夹结构，其特征在于，所述装夹结构包括基台和盖板；

所述基台包括底座和从底座中心向上凸起的凸台；

所述盖板设置于凸台上；

所述装夹结构还包括贯穿盖板伸入凸台内的固定装置。

2.根据权利要求1所述的装夹结构，其特征在于，所述凸台的圆柱边比薄壁件的外径小；

优选地，所述凸台的直径比薄壁件的外径小0.05～0.1mm；

优选地，所述基台的底座上设置有凹槽；

优选地，所述凹槽设置在底座边缘；

优选地，所述凹槽的宽度为3～10mm，优选为4～8mm；

优选地，所述凹槽的深度为0.2～0.4mm，优选为0.2～0.3mm；

优选地，所述底座的厚度为10～20mm，优选为14～16mm；

优选地，所述基台的材质包括铝合金或不锈钢，优选为铝合金6061。

3.根据权利要求1或2所述的装夹结构，其特征在于，所述盖板的厚度为5～15mm，优选为8～12mm；

优选地，所述盖板的直径比薄壁件的内径大；

优选地，所述盖板的直径比薄壁件的外径小；

优选地，所述盖板的直径比薄壁件的外径小0.2～1mm，优选为0.4～0.8mm；

优选地，所述盖板的材质包括铝合金或不锈钢，优选为铝合金6061。

4.根据权利要求1～3任一项所述的装夹结构，其特征在于，所述盖板上设置有贯穿于盖板的盖板孔；

优选地，所述盖板孔在盖板表面呈等角度分布；

优选地，所述盖板孔的圆心到盖板圆周的径向距离为14～24mm，优选为16～22mm。

5.根据权利要求4所述的装夹结构，其特征在于，所述基台的凸台上表面设置有与盖板孔相匹配的凸台孔；

优选地，所述凸台孔在凸台上表面呈等角度分布；

优选地，所述凸台孔的圆心到凸台圆周的径向距离为14～25mm，优选为17～23mm。

6.根据权利要求5所述的装夹结构，其特征在于，所述固定装置包括螺杆；

优选地，所述螺杆的直径为M6～M10，优选为M8；

优选地，所述螺杆贯穿于盖板的盖板孔并置于凸台的凸台孔内部，固定基台和盖板。

7.一种薄壁件的装夹方法，其特征在于，所述方法采用权利要求1～6任一项所述的薄壁件的装夹结构进行。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法包括：将薄壁件放于基台上，再将盖板盖于薄壁件和基台上，利用固定装置将盖板与基台固定。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述薄壁件为包括环形结构的薄壁件；

优选地，所述薄壁件包括圆筒结构；

优选地，所述薄壁件包括设置在圆筒结构内表面与圆筒结构垂直的环形支耳；

优选地，所述环形支耳设置在圆筒结构轴向方向的正中间；

优选地，所述环形支耳的环宽为5～10mm，优选为6～8mm；

优选地，所述薄壁件的厚度为3～4mm，优选为3.2～3.8mm；

优选地，所述薄壁件的材质包括不锈钢、铝合金或钛合金中的任意一种或至少两种的组合。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法包括将薄壁件的圆筒结构设置在基台底座的凹槽中；

优选地，所述凸台的圆柱边与薄壁件的圆筒结构内表面之间留有0.05～0.1mm的间隙；

优选地，将所述环形支耳置于凸台与盖板之间。

11.根据权利要求1～6任一项所述的薄壁件的装夹结构在半导体制备领域中的用途。