[发明专利]基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法

说明书

本发明公开了一种基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法，包括：根据文件名后缀判断数据文件的类型；解析上述gds格式文件的数据，遍历gds格式文件中的每一项元素，得到表示它的数据点；遍历结束后获得了表示整个gds格式文件的数据点，将其转成自定义的数据结构，得到表示文件的数据集等步骤。通过上述方式，本发明提供的基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法，解决了实际生产中数据下发出错、丢失的问题，可以满足对更小线宽，更复杂图形的要求，实现了下发不丢失数据的功能，可以保证上位机安全并完全的传输数据到下位机。

技术领域

本发明涉及图形处理的领域，尤其涉及一种基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法，半导体光刻成像软件的实现方法。

背景技术

半导体生产过程中，效率无疑是很一个重要的指标，而效率可能体现在各个环节。目前生产中，只有当机台在对准操作完成后才会进行下一步地操作曝光。而如果在对准操作出现问题的时候，曝光操作也就无法进行下去，这主要是因为拼版的技术问题。

目前拼版做法是根据阵列数量，板间距离等参数进行拼版，一旦其中模块对准产生错误，就无法剔除对准错误的一块，把成功对准的模块进行拼版，只有全部成功对准才会完成拼版操作，接着启动曝光流程，工作效率低，从而影响生产进度。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法，应用于半导体生产中拼版，直接剔除对准错误的模块，只对对准没有问题的模块进行拼版，实现了在有不能对准的情况下，依然能够把已经对准的部分进行拼版处理，使得曝光流程能继续下去，提高了产线生产效率。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供了一种基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法，包括以下具体步骤：

包括以下具体步骤：

步骤1：获取数据文件的格式，根据文件名后缀判断数据文件的类型；

步骤2：如果是gerber格式文件，则解析该文件，并将gerber格式文件转成gds格式文件，如果用的是gds格式文件，则直接进入下一步；

步骤3：解析上述gds格式文件的数据，遍历gds格式文件中的每一项元素，得到表示它的数据点；

步骤4：遍历结束后获得了表示整个gds格式文件的数据点，将其转成自定义的数据结构，得到表示文件的数据集，以数据集作为拼版的基准数据，基准位置选取左下角的位置；

步骤5：剔除没有正确对准的部分，进行拼版操作，获取拼版的参数；

步骤6：根据拼版的参数，遍历计算下一位置距离基准位置的行间距和列间距，再计算出该位置对应的数据点集合；

步骤7：判断是否全部遍历完，如果遍历结束则进入下一步，否则继续进行上一步的操作；

步骤8：遍历全部完成后，将每次遍历计算出的数据保存在一起，写入文件进行保存，生成做成拼版后的数据，开始曝光。

在本发明一个较佳实施例中，所述的步骤5中拼版的参数为行间距、列间距和阵列数。

本发明的有益效果是：本发明的基于图形图像变换处理的gerber拼版处理方法，应用于半导体生产中拼版，直接剔除对准错误的模块，只对对准没有问题的模块进行拼版，实现了在有不能对准的情况下，依然能够把已经对准的部分进行拼版处理，使得曝光流程能继续下去，提高了产线生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：