[发明专利]一种降低硅切片断线率的方法在审
申请号: | 201911241736.7 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN110936287A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 蔡健华;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 降低 切片 断线 方法 | ||
1.一种降低硅切片断线率的方法,其特征在于,包括:
步骤一,准备一金属丝,将金属丝缠绕在工字轮上,工字轮的直径在200mm-208mm,金属丝的排线间距在0.3mm-0.6mm;
步骤二,对金属丝进行高速往复运动;
步骤三,通过金属丝的高速往复运动将磨料带入加工区域进行研磨;
步骤四,得到产品硅切片。
2.根据权利要求1所述的一种降低硅切片断线率的方法,其特征在于,所述金属丝为钢丝。
3.根据权利要求1所述的一种降低硅切片断线率的方法,其特征在于,所述金属丝是钢丝、铜丝、银丝、铁丝、铬丝、镍丝、钨丝、锰丝或者锆丝中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的一种降低硅切片断线率的方法,其特征在于,在其他工艺条件不变的情况下工字轮直径为200,金属丝的排线间距为0.6、0.5、0.4、0.3时:
。
5.根据权利要求1所述的一种降低硅切片断线率的方法,其特征在于,在其他工艺条件不变的情况下金属丝排线间距为0.3mm,工字轮直径为200、202、204、206、208时:
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