[发明专利]一种基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法

权利要求书

1.一种基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法，其特征在于实施步骤包括：

1)初始化迭代次数i为0，测量工件第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_i；

2)根据第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_i生成去除函数R_i(x,y)；

3)根据第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_i进行功率谱密度分析获取第i+1次离子束修形加工前的低频误差比例K_i；

4)选择性根据第i+1次离子束修形加工前的低频误差比例K_i调整去除函数R_i(x,y)的束径大小，得到最终的去除函数R_i(x,y)；

5)采用最终的去除函数R_i(x,y)进行第i+1次离子束修形加工，并记录加工时间t_i+1；

6)测量工件第i+1次离子束修形加工后的空间域高度误差RMS_i+1；

7)判断工件是否满足精度要求，如果满足精度要求则结束并退出；否则根据第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_i、第i+1次离子束修形加工后的空间域高度误差RMS_i+1计算第i+1次离子束修形加工的加工面形误差收敛率V_i+1；

8)判断第i+1次离子束修形加工的加工面形误差收敛率V_i+1是否满足要求，如果满足要求则将迭代次数i加1并跳转执行步骤5)；否则，将迭代次数i加1并跳转执行步骤2)。

2.根据权利要求1所述的基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法，其特征在于，步骤3)的详细步骤包括：

3.1)获取步骤2)中根据第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_i所生成去除函数R_i(x,y)的去除函数束径d_6σi；

3.2)根据去除函数束径d_6σi计算第i+1次离子束修形加工前的修形截止频率fc_i；

3.3)测量低于第i+1次离子束修形加工前的修形截止频率fc_i的空间域高度误差得到第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_Li；

3.4)根据第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_Li计算第i+1次离子束修形加工前的低频误差比例K_i。

3.根据权利要求2所述的基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法，其特征在于，步骤3.2)中计算第i+1次离子束修形加工前的修形截止频率fc_i的函数表达式如下式所示：

上式中，d_6σi为第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差RMS_i所生成去除函数的去除函数束径。

4.根据权利要求2所述的基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法，其特征在于，步骤3.4)中计算第i+1次离子束修形加工前的低频误差比例K_i的函数表达式如下式所示：

上式中，RMS_Li为第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差，RMS_i为第i+1次离子束修形加工前的空间域高度误差。

5.根据权利要求1所述的基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法，其特征在于，步骤4)的详细步骤包括：判断第i+1次离子束修形加工前的低频误差比例K_i小于预设阈值是否成立，如果成立则采用束径更小的去除函数R_i(x,y)，否则保持当前的去除函数R_i(x,y)的束径大小不变。