[发明专利]一种气相沉积炉内气体悬浮装置

权利要求书

1.一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括平行设置并且旋转配合的石墨盘和底座，其特征在于：所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述第一分气孔、第二分气孔分别位于所述主进气孔的两侧，所述第一分气孔、第二分气孔分别与所述主进气孔交汇连通于同一点，所述第一分气孔与所述第一倾斜出气孔连接，所述第二分气孔与所述第二倾斜出气孔连接，所述主进气孔、第一分气孔、第一倾斜出气孔连通形成第一气道，所述主进气孔、第二分气孔、第二倾斜出气孔连通形成第二气道，所述第一气道、第二气道用于产生旋转气体，推动所述石墨盘悬浮并转动。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述第一分气孔、第二分气孔的轴线相重合，所述第一分气孔、第二分气孔分别垂直于所述主进气孔。

3.根据权利要求1所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述主进气孔、第一分气孔、第二分气孔的轴线均平行于水平面，所述第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔的轴线均与水平面成锐角。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔对称设置。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔的表面均覆盖有碳化硅涂层。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述底座上设有气道镶块，所述第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔均位于所述气道镶块之内，所述底座与所述气道镶块为密封配合。

7.根据权利要求1所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述石墨盘贴合所述底座的底面上设有与所述第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔相对应的旋转气槽，所述第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔射出的倾斜气体进入所述旋转气槽产生旋转气体，推动所述石墨盘悬浮并转动。

8.根据权利要求7所述的气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述旋转气槽有多道并沿所述石墨盘的周向间隔均匀设置，所述旋转气槽自所述石墨盘的中心向外延伸，所述旋转气槽与所述石墨盘的径向呈锐角。