[发明专利]测试程式管理方法及系统

说明书

本发明提供一种测试程式管理方法及系统，方法包括：提供第一伺服器、至少一个测试机台和第二伺服器，在第一伺服器建立第一测试程式；测试机台和第二伺服器从第一伺服器同步下载第一测试程式；测试机台将下载的第一测试程式发送至第二伺服器；第二伺服器比对其下载的第一测试程式与测试机台发送的第一测试程式是否一致，若一致，确定测试机台下载正确，若不一致，进行异常提醒；第二伺服器还用于对测试程式进行编号以及周期性比对测试机台上的第一测试程式与第二伺服器的第一测试程式是否一致；本发明提供的方法效率高、错误率低且可预防人为操作失误。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种测试程式管理方法及系统。

背景技术

在半导体领域中，通常会利用测试机台基于测试程式对半导体晶圆执行允收测试，以确保半导体晶圆的出厂质量以及对工艺流程进行除错等。其中，所述测试程式中包括测试项目和测试项目对应的测试参数，测试机台可以基于所述测试参数对半导体晶圆施加对应的电压值或电流值，以获得各个测试项目对应的测试结果。但是，不同类型的半导体晶圆的测试项目和测试参数均不相同，则其对应的测试程式也不相同，因此，通常需要对机台中的测试程式进行变更，以便对不同类型的半导体晶圆执行测试。

相关技术中，变更第一测试程式的方法为：先基于待测晶圆的类型确定出测试程式，之后，再将所述待测晶圆对应的测试程式下载至机台中替换前次测试所采用的测试程式。其中，为了确保所述测试程式的变更操作能够正确实施，通常在测试机台下载了测试程式后，操作人员会检测所述测试程式是否正确下载。

但是，相关技术中，所述测试程式中的测试项目和测试参数均较多，通常达到上百项目以上，以及测试机台的数量也较多，则人工检测测试程式是否正确下载的方案的效率较低且错误率较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测试程式管理方法及系统，以解决现有的测试程式管理方法的效率较低且错误率较高的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种测试程式管理方法，所述测试程式管理方法包括：

提供第一伺服器、至少一个测试机台以及第二伺服器，其中，所述测试机台用于基于测试程式对半导体器件进行测试；

在所述第一伺服器建立一第一测试程式；

所述至少一个测试机台和所述第二伺服器从所述第一伺服器处同步下载所述第一测试程式；

所述测试机台将下载的第一测试程式发送至所述第二伺服器；

所述第二伺服器比对所述第二伺服器从所述第一伺服器下载的第一测试程式与所述测试机台发送至所述第二伺服器的第一测试程式是否一致，当一致时，确定所述测试机台的第一测试程式下载正确，当不一致时，进行异常提醒，并提示所述测试机台重新下载所述第一测试程式。

可选的，比对所述第二伺服器从所述第一伺服器下载的第一测试程式与所述测试机台发送至第二伺服器的第一测试程式是否一致的方法包括：

比对所述第二伺服器从所述第一伺服器下载的第一测试程式的内存大小和所述测试机台发送至所述第二伺服器的第一测试程式的内存大小是否一致；

比对所述第二伺服器从所述第一伺服器下载所述第一测试程式的时间，与所述测试机台从所述第一伺服器下载所述第一测试程式的时间，并判断两者之间的时间差是否小于允许时间差，所述允许时间差小于等于3分钟；

若比对结果均为“是”，确定所述测试机台的第一测试程式下载正确，否则确定测试机台的测试程序下载错误。

可选的，所述测试机台向所述第二伺服器发送第一测试程式的同时，还将所述测试机台的机台名称发送至所述第二伺服器；