[发明专利]一种钨合金表面高熵合金层的制备方法

权利要求书

1.一种钨合金表面高熵合金层的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步，制备靶材，准备若干Ta、W、V和Cr四种金属棒，在纯钛板上加工若干等间距的用于固定四种金属棒的孔洞，将四种金属棒等比例循环排列的方式插入孔洞中，得到靶材板，用作合金源极；

第二步，钨合金工件表面预处理，对钨合金工件表面除油后，使用水磨砂纸逐级打磨并抛光，分别使用丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗，干燥备用；

第三步，将预处理好的钨合金基体放入真空腔对应的样品台上，样品台连接直流偏压电源，将准备好的靶材板挂在距钨合金工件10-20mm的源极位置，源极连接脉冲偏压电源；

第四步，打开冷却水循环系统，抽真空，当真空度1Pa时，充入高纯氩气，反复多次使用氩气清洗真空腔体，最后将真空室气压抽至6.7×10^-2Pa；

第五步，调节机械阀和充入气体流速调节工作气压到30-50Pa，开启源极和工件电源，分别调节若干次源极电压和工件电压，每次均使工件电压高于源极电压，在升温的过程中进行预溅射，去除靶材板表面的污染物；

第六步，待温度到达预设渗金属温度后，保持工件温度恒定的情况下，降低工件电压，同时升高源极电压，待源极电压为700-900V，工件电压为300-400V时，开始保温计时，保温过程中，通过调节源极电压和工件电压维持工件温度的稳定；

第七步，保温结束后，将源极电压和工件电压降为零，关闭电源，1h后关闭氩气，再过1h后关闭真空泵和冷却水循环系统，待工件冷却到室温时取出工件。

2.根据权利要求1所述的一种钨合金表面高熵合金层的制备方法，其特征在于：第六步中所述预设渗金属温度为1000-1800℃，保温时间为1-5h。