[发明专利]一种中心进气的质谱仪离子源在审

专利信息
申请号: 201911216266.9 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN110931345A 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 吕丽珊;杨鹏博;杨松林;王军;张祺 申请(专利权)人: 广州安诺科技股份有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 王永文;刘芙蓉
地址: 510663 广东省广州市高新技术产业开*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 中心 质谱仪 离子源
【权利要求书】:

1.一种中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,包括一端为封闭的电介质管、所述电介质管的外壁上设置有若干的接地电极,所述电介质管内悬空设置有空心金属导管电极,所述空心金属导管电极的一端穿过所述电介质管封闭的一端与气源相连,所述空心金属导管电极的另一端封闭设置,所述空心金属导管电极的管壁上设置有用于气体通过的若干通孔,所述空心金属导管电极与高压交流电源的正极相连,所述接地电极与高压交流电源的负极相连并接地。

2.根据权利要求1所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述通孔设置有多个,绕空心金属导管电极的中心轴均匀设置在空心金属导管电极上。

3.根据权利要求1所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述通孔为锥孔。

4.根据权利要求1所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述空心金属导管电极封闭的一端为尖端。

5.根据权利要求4所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述尖端的端部离所述电介质管出口的距离为1.5cm。

6.根据权利要求1所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述接地电极为金属环,所述金属环套设在所述电介质管的外壁上。

7.根据权利要求6所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述金属环设置有多个,相邻金属环之间间隔设置。

8.根据权利要求7所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,相邻金属环之间的间隔距离为1cm。

9.根据权利要求1所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述空心金属导管电极为钨管或不锈钢管。

10.根据权利要求1所述的中心进气的质谱仪离子源,其特征在于,所述电介质管为石英玻璃管或陶瓷管。

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