[发明专利]一种内加热法的快速升温炉

权利要求书

1.一种内加热法的快速升温炉，其特征在于，包括电极(1)、进气口(2)、法兰(3)、压力表(4)、管堵(5)、保温腔(6)、基材(7)、石英盘(8)、加热元件(9)、试管(10)、设备框架(12)、抽气口(13)、真空抽口(14)、波纹管(15)、机械泵(16)、电源(17)和支撑框架(18)，所述设备框架(12)的内部设置有保温腔(6)，所述保温腔(6)的内部设置有试管(10)，所述试管(10)的内部底端固定安装有加热元件(9)，所述加热元件(9)与电极(1)连接，所述加热元件(9)的上方固定安装有石英盘(8)，所述石英盘(8)上放置有基材(7)，所述试管(10)的内部对称安装有两个管堵(5)；

所述试管(10)的一端与法兰(3)固定连接，所述法兰(3)的一侧开设有抽气口(13)，所述法兰(3)的顶部开设有进气口(2)，所述法兰(3)的底部开设有真空抽口(14)，所述真空抽口(14)通过波纹管(15)与机械泵(16)一端连接，所述机械泵(16)安装在支撑框架(18)内。

2.根据权利要求1所述的一种内加热法的快速升温炉,其特征在于，所述法兰(3)的管口处安装有压力表(4)。

3.根据权利要求1所述的一种内加热法的快速升温炉,其特征在于，所述电极(1)安装在法兰(3)的端口处。

4.根据权利要求1所述的一种内加热法的快速升温炉,其特征在于，所述支撑框架(18)的内部固定安装有电源(17)，电源(17)与机械泵(16)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种内加热法的快速升温炉,其特征在于，该升温炉的工作步骤为：

步骤一、将基材(7)放置在石英盘(8)上，然后机械泵(16)通过波纹管(15)和真空抽口(14)将升温炉内抽真空到10Pa以下，进气口(2)接入，通入N₂保护，抽气口(13)排出废气；

步骤二、加热元件(9)加热，30秒加热温度到1000℃，恒温10分钟，关上法兰(3)即可进行加热实验。