[发明专利]一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器

权利要求书

1.一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，包括基底(1)和设置在所述基底(1)上呈周期性排列的超材料单元结构，所述超材料单元结构包括依次设置的多层介质/金属膜(2)和单层介质膜/金属(3)，还包括设置在所述多层介质/金属膜(2)外层的外层介电圆柱环(4)，所述外层介电圆柱环(4)的高度小于所述多层介质/金属膜(2)的高度。

2.如权利要求1所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述基底(1)的材料为铁、铝或铜。

3.如权利要求2所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述基底(1)的厚度为180～220mm。

4.如权利要求1所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述多层介质/金属膜(2)和单层介质膜/金属(3)为十字型结构。

5.如权利要求4所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述多层介质/金属膜(2)为交替设置的介质条(21)和金属膜(22)，所述介质条(21)的厚度大于所述金属膜(22)的厚度；

和/或所述单层介质膜/金属(3)为依次设置的介质膜(31)和金属条(32)，所述金属条(32)的厚度大于所述介质膜(31)的厚度。

6.如权利要求5所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述多层介质/金属膜(2)的臂长为80～120nm，臂宽为55～100nm；所述介质条(21)的厚度为140～150nm，所述金属膜(22)的厚度为10～15nm；

和/或所述介质膜(31)的臂长为80～120nm，臂宽为55～100nm，厚度为10～15nm；所述金属条(32)的臂长为26～36nm，臂宽为22～32nm，厚度为40～60nm。

7.如权利要求5所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述介质条(21)的材料为硅、二氧化硅、氮化硅、氧化铝或氟化镁，与所述介质条(21)相邻的两层所述金属膜(22)的材料不同，分别为金或银，以及铁、铝或铜；

和/或所述介质膜(31)的材料为硅、二氧化硅、氮化硅、氧化铝或氟化镁，所述金属条(32)的材料为铁、铝或铜。

8.如权利要求1所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述外层介电圆柱环(4)的材料为硅、二氧化硅、氮化硅、氧化铝或氟化镁，内半径为110～170nm，外半径为130～190nm，高度为540～705nm。

9.如权利要求1所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，所述超材料单元结构的阵列周期为260～380nm。

10.如权利要求1至9中任一项所述的一种全紫外-中红外波段的超宽带偏振不敏感吸收器，其特征在于，在太阳能捕获和紫外防护中的应用。