[发明专利]一种换热结构及半导体换热装置在审

专利信息
申请号: 201911204797.6 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN112880454A 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 杜留洋;韩强;汤道福;孙九虎 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: F28D21/00 分类号: F28D21/00;F25B21/02;F28F9/24
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 结构 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种换热结构,其特征在于,包括换热本体(10)和设于所述换热本体(10)内部的换热流道(20),所述换热流道(20)内置肋片(30),所述肋片(30)设置于所述换热流道(20)内以沿流动方向将所述换热流道(20)分割为至少两个子流道;所述肋片(30)的侧壁上开设换热通孔(31),以连通两相邻的所述子流道。

2.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热流道(20)呈回型布置或者S型布置。

3.根据权利要求2所述的换热结构,其特征在于,所述肋片(30)包括若干直肋片和设于两个相邻所述直肋片之间的弯肋片,所述换热通孔(31)开设于所述直肋片上。

4.根据权利要求3所述的换热结构,其特征在于,所述直肋片上沿流动方向均匀分布有多个所述换热通孔(31)。

5.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述肋片(30)至少设置两个,两个相邻的所述肋片(30)上的换热通孔(31)在与流动方向相垂直的方向上呈交错分布。

6.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热通孔(31)的形状为矩形、菱形、三角形或圆形。

7.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热本体(10)的内壁上还设有多个沿流动方向依次排布的微型槽(13)。

8.根据权利要求7所述的换热结构,其特征在于,所述微型槽(13)的截面形状为矩形、菱形、三角形或者半圆形。

9.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热流道(20)内设置一个肋片(30),且所述肋片(30)位于所述换热流道(20)的中间位置。

10.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热结构为板状体,所述板状体上设有分别与所述换热流道(20)首尾两端相连通的进液口(11)和出液口(12),流体经由所述进液口(11)进入所述换热流道(20)内完成换热并由所述出液口(12)流出。

11.一种半导体换热装置,其特征在于,包括依次叠放的第一散热板(100)、第一半导体制冷片(200)、导冷板(300)、第二半导体制冷片(400)和第二散热板(500);所述第一散热板(100)、所述第二散热板(500)和所述导冷板(300)均采用权利要求1-10任一项所述的换热结构。

12.根据权利要求11所述的半导体换热装置,其特征在于,所述第一散热板(100)、所述第二散热板(500)和所述导冷板(300)均采用3D打印一体成型。

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