[发明专利]一种换热结构及半导体换热装置在审
| 申请号: | 201911204797.6 | 申请日: | 2019-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN112880454A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 杜留洋;韩强;汤道福;孙九虎 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | F28D21/00 | 分类号: | F28D21/00;F25B21/02;F28F9/24 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 结构 半导体 装置 | ||
1.一种换热结构,其特征在于,包括换热本体(10)和设于所述换热本体(10)内部的换热流道(20),所述换热流道(20)内置肋片(30),所述肋片(30)设置于所述换热流道(20)内以沿流动方向将所述换热流道(20)分割为至少两个子流道;所述肋片(30)的侧壁上开设换热通孔(31),以连通两相邻的所述子流道。
2.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热流道(20)呈回型布置或者S型布置。
3.根据权利要求2所述的换热结构,其特征在于,所述肋片(30)包括若干直肋片和设于两个相邻所述直肋片之间的弯肋片,所述换热通孔(31)开设于所述直肋片上。
4.根据权利要求3所述的换热结构,其特征在于,所述直肋片上沿流动方向均匀分布有多个所述换热通孔(31)。
5.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述肋片(30)至少设置两个,两个相邻的所述肋片(30)上的换热通孔(31)在与流动方向相垂直的方向上呈交错分布。
6.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热通孔(31)的形状为矩形、菱形、三角形或圆形。
7.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热本体(10)的内壁上还设有多个沿流动方向依次排布的微型槽(13)。
8.根据权利要求7所述的换热结构,其特征在于,所述微型槽(13)的截面形状为矩形、菱形、三角形或者半圆形。
9.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热流道(20)内设置一个肋片(30),且所述肋片(30)位于所述换热流道(20)的中间位置。
10.根据权利要求1所述的换热结构,其特征在于,所述换热结构为板状体,所述板状体上设有分别与所述换热流道(20)首尾两端相连通的进液口(11)和出液口(12),流体经由所述进液口(11)进入所述换热流道(20)内完成换热并由所述出液口(12)流出。
11.一种半导体换热装置,其特征在于,包括依次叠放的第一散热板(100)、第一半导体制冷片(200)、导冷板(300)、第二半导体制冷片(400)和第二散热板(500);所述第一散热板(100)、所述第二散热板(500)和所述导冷板(300)均采用权利要求1-10任一项所述的换热结构。
12.根据权利要求11所述的半导体换热装置,其特征在于,所述第一散热板(100)、所述第二散热板(500)和所述导冷板(300)均采用3D打印一体成型。
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