[发明专利]双折射测量装置及基于该装置的寻常光、非常光测量方法有效

专利信息
申请号: 201911203061.7 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN112881336B 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 陈小梅;张用友;钟海政;柏泽龙 申请(专利权)人: 致晶科技(北京)有限公司
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 代理人: 史冬梅
地址: 100081 北京市海淀区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 双折射 测量 装置 基于 寻常 非常 测量方法
【权利要求书】:

1.一种双折射测量装置,其特征在于,包括:偏振光生成单元、开设透光孔的遮光片及检偏器;

所述偏振光生成单元设置于所述遮光片的入射光侧;

所述检偏器设置于所述遮光片的出射光侧,用于获取从待测样品出射的偏振光的偏振态;

所述遮光片为两个,两个所述遮光片的透光孔相对设置,所述待测样品设置于两个所述遮光片之间;

所述遮光片用于遮挡偏离透光孔的入射光。

2.根据权利要求1所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元包括热光源、滤波片及第一起偏器;

所述滤波片的入射光侧设置所述热光源,所述滤波片的出射光侧设置所述第一起偏器,经由所述第一起偏器的出射光照射于所述遮光片上。

3.根据权利要求2所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元还包括沿光路依次设置的光阑、衰减片及透镜;

所述光阑、衰减片及透镜设置于所述滤波片与所述第一起偏器之间。

4.根据权利要求1所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元包括冷光源及第二起偏器;

所述第二起偏器的入射光侧设置所述冷光源,所述第二起偏器的出射光侧设置所述遮光片。

5.根据权利要求1所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元包括激光光源及半波片;

所述半波片的入射光侧设置所述激光光源,所述半波片的出射光侧设置所述遮光片。

6.一种寻常光、非常光测量方法,其特征在于,包括:

获取权利要求1~5任一项所述的双折射测量装置输出的偏振光的光强;

获取入射至待测样品的入射光参数及待测样品的厚度d;

利用所述偏振光的光强、所述入射光参数及待测样品的厚度,计算待测样品的寻常光折射率no及非常光折射率ne

7.根据权利要求6所述的寻常光、非常光测量方法,其特征在于,所述入射光参数包括光波矢量k、光波振动方向与测量面的夹角φ。

8.根据权利要求7所述的寻常光、非常光测量方法,其特征在于,计算待测样品的寻常光折射率no,具体为:

其中,tx为双折射测量装置输出的x轴偏振光的光强,i为虚数单位。

9.根据权利要求8所述的寻常光、非常光测量方法,其特征在于,计算待测样品的非常光折射率ne,具体为:

其中,γ=cos(φ);ty为双折射测量装置输出的y轴偏振光的光强。

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