[发明专利]双折射测量装置及基于该装置的寻常光、非常光测量方法有效
| 申请号: | 201911203061.7 | 申请日: | 2019-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN112881336B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
| 发明(设计)人: | 陈小梅;张用友;钟海政;柏泽龙 | 申请(专利权)人: | 致晶科技(北京)有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
| 代理公司: | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人: | 史冬梅 |
| 地址: | 100081 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 双折射 测量 装置 基于 寻常 非常 测量方法 | ||
1.一种双折射测量装置,其特征在于,包括:偏振光生成单元、开设透光孔的遮光片及检偏器;
所述偏振光生成单元设置于所述遮光片的入射光侧;
所述检偏器设置于所述遮光片的出射光侧,用于获取从待测样品出射的偏振光的偏振态;
所述遮光片为两个,两个所述遮光片的透光孔相对设置,所述待测样品设置于两个所述遮光片之间;
所述遮光片用于遮挡偏离透光孔的入射光。
2.根据权利要求1所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元包括热光源、滤波片及第一起偏器;
所述滤波片的入射光侧设置所述热光源,所述滤波片的出射光侧设置所述第一起偏器,经由所述第一起偏器的出射光照射于所述遮光片上。
3.根据权利要求2所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元还包括沿光路依次设置的光阑、衰减片及透镜;
所述光阑、衰减片及透镜设置于所述滤波片与所述第一起偏器之间。
4.根据权利要求1所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元包括冷光源及第二起偏器;
所述第二起偏器的入射光侧设置所述冷光源,所述第二起偏器的出射光侧设置所述遮光片。
5.根据权利要求1所述的双折射测量装置,其特征在于,所述偏振光生成单元包括激光光源及半波片;
所述半波片的入射光侧设置所述激光光源,所述半波片的出射光侧设置所述遮光片。
6.一种寻常光、非常光测量方法,其特征在于,包括:
获取权利要求1~5任一项所述的双折射测量装置输出的偏振光的光强;
获取入射至待测样品的入射光参数及待测样品的厚度d;
利用所述偏振光的光强、所述入射光参数及待测样品的厚度,计算待测样品的寻常光折射率no及非常光折射率ne。
7.根据权利要求6所述的寻常光、非常光测量方法,其特征在于,所述入射光参数包括光波矢量k、光波振动方向与测量面的夹角φ。
8.根据权利要求7所述的寻常光、非常光测量方法,其特征在于,计算待测样品的寻常光折射率no,具体为:
其中,tx为双折射测量装置输出的x轴偏振光的光强,i为虚数单位。
9.根据权利要求8所述的寻常光、非常光测量方法,其特征在于,计算待测样品的非常光折射率ne,具体为:
其中,γ=cos(φ);ty为双折射测量装置输出的y轴偏振光的光强。
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