[发明专利]一种显示基板及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 201911200515.5 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN110890481B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 刘威;杨维 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 解婷婷;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本发明公开了一种显示基板及其制备方法、显示装置。所述显示基板的制备方法包括:形成阳极;在所述阳极上形成驱动结构层;翻转上述包括阳极和驱动结构层的结构,在所述阳极上形成发光结构层。本实施例提供的方案,由于驱动结构层在阳极上方完成,做完驱动结构层再翻转,漏电极与阳极连接处是一个小孔,漏电极与阳极连接的地方可以用于显示,因此提高了空间利用率,进一步提高了显示开口率及分辨率。
技术领域
本发明涉及显示技术,尤指一种显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
现阶段柔性有源矩阵有机发光二极管(Active Matrix Organic Light-EmittingDiode,AMOLED)显示面板已经进入高速发展的阶段,柔性显示的技术以聚酰亚胺(PI)材料为基础带来了很多工艺上的难题,但研究专家们都一一解决,例如将柔性基底从玻璃基板上剥离下来的方法,也就是激光剥离(Laser Lift Off,简称LLO)技术,目前已经较成熟,以此技术为基础,柔性OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)的背板整体制作工艺除了将柔性基底先制作在玻璃上以外,剩余的薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)及最终的OLED发光单元的形成都与刚性显示背板差别不大,这种常规的制作过程对于OLED来讲还有一些不够精进的技术问题。
发明内容
本发明至少一实施例提供了一种显示基板及其制备方法、显示装置。
为了达到本发明目的,本发明至少一实施例提供了一种显示基板的制备方法,包括:
形成阳极;
在所述阳极上形成驱动结构层;
翻转上述包括阳极和驱动结构层的结构,在所述阳极上形成发光结构层。
在一实施例中,所述形成阳极包括:
在第一玻璃载板上形成第一牺牲层,在所述第一牺牲层上形成阳极。
在一实施例中,所述形成阳极包括:
在第一玻璃载板上形成第一牺牲层,在所述第一牺牲层上形成像素界定层,在所述像素界定层上形成所述阳极。
在一实施例中,在所述像素界定层上形成所述阳极前,还包括:对所述像素界定层的开口区域进行曝光处理;
翻转上述包括阳极和驱动结构层的结构后,还包括:对所述像素界定层进行灰化,形成暴露出所述阳极的开口区域。
在一实施例中,翻转上述包括阳极和驱动结构层的结构前,还包括:
在所述驱动结构层上压合依次设置有基底、第二牺牲层和第二玻璃载板的盖板,去除所述第一玻璃载板。
在一实施例中,在所述阳极上形成驱动结构层包括:
形成覆盖所述阳极的平坦化层;
在所述平坦化层上形成驱动结构层。
在一实施例中,所述平坦化层使用聚酰亚胺或者有机硅氧烷材料制成。
在一实施例中,所述平坦化层的厚度大于或等于2微米。
在一实施例中,在所述平坦化层上形成驱动结构层包括:
在所述平坦化层上形成绝缘层,在所述绝缘层上形成有源层;
在所述有源层上形成第一绝缘层以及设置在所述第一绝缘层上的栅电极;
形成覆盖所述栅电极的第二绝缘层;
在所述第二绝缘层上形成源电极和漏电极,所述源电极和漏电极分别与所述有源层连接,所述漏电极与所述阳极连接。
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