[发明专利]半导体设备的远程群组控制系统

说明书

本发明提供一种半导体设备的远程群组控制系统，该群组控制系统包括：服务器、至少一个客户端，其中，客户端通过第一预设协议与服务器通信连接，服务器通过第二预设协议与至少一个半导体设备群组通信连接，半导体设备群组中包括至少一个半导体设备；服务器用于获取半导体设备群组中各个半导体设备的运行状态参数，并将运行状态参数发送给客户端；客户端用于显示运行状态参数。上述远程群组控制系统可独立地基于半导体设备群组的架构实现对半导体设备的监控和管理功能，提升了半导体制造厂的生产效率，提高了半导体制造厂的生产线平衡和及时交付能力，降低了半导体制造厂的生产费用。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体地，涉及一种半导体设备的远程群组控制系统。

背景技术

在半导体制造厂里，通常是通过对半导体设备的整体工艺、物料、及菜单进行集中管理，从而实现生产计划和排程、制造执行以及物料控制之间的无缝集成。

目前，一般是通过工程师在半导体设备前操作对半导体设备的整体工艺、物料、及菜单(可以称为数据信息)进行集中管理。而为了提升制造厂的生产效率，半导体企业不断增加机台数量，随着半导体设备数量逐渐增多，若依然通过工程师在半导体设备前操作对半导体设备的数据信息进行集中管理，则使得工程师的工作量急剧增加，工作效率也大幅度降低，所以，总是要求工程师在机台前操作则变得不是很现实，所以亟需相应的远程控制系统，以方便制造厂的工作人员可以在厂房外进行半导体设备的监控和数据分析等。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体设备的远程群组控制系统。

为实现本发明的目的，一方面提供一种半导体设备的远程群组控制系统，包括：服务器、至少一个客户端，其中，

所述至少一个客户端通过第一预设协议与所述服务器通信连接，所述服务器通过第二预设协议与至少一个半导体设备群组通信连接，所述半导体设备群组中包括至少一个半导体设备；

所述服务器用于获取所述至少一个半导体设备群组中各个半导体设备的运行状态参数，并将所述运行状态参数发送给所述至少一个客户端；

所述至少一个客户端用于显示所述运行状态参数。

可选地，所述运行状态参数包括以下至少之一：设备名称、设备型号、当前运行状态、当前执行的工艺菜单名称、工艺流程状态、工艺流程时间信息、工艺参数信息。

可选地，所述至少一个客户端还用于响应于用户操作，向所述服务器发送数据管理指令，所述数据管理指令包括以下至少之一：数据记录配置指令、数据图形分析指令、数据对比指令；

所述服务器还用于接收所述数据管理指令，并根据所述数据管理指令对保存的所述运行状态参数进行相应的数据管理操作，并生成第一结果发送给所述至少一个客户端，其中，所述数据管理操作包括以下至少之一：对所述运行状态参数的记录方式进行配置、将所述运行状态参数转换为图形或表格、将所述运行状态参数中的部分运行状态参数与另一部分进行对比；

所述至少一个客户端还用于对所述第一结果进行存储、查询、显示中的至少一种操作。

可选地，所述至少一个客户端还用于响应于用户操作，向所述服务器发送工艺菜单管理指令，所述工艺菜单管理指令包括以下至少之一：工艺菜单编辑指令、工艺菜单新增指令、工艺菜单删除指令、工艺菜单对比指令、工艺菜单备份指令、工艺菜单还原指令；

所述服务器还用于接收所述工艺菜单管理指令，并根据所述艺菜单管理指令对保存的工艺菜单进行相应的工艺菜单管理操作，并生成第二结果发送给所述至少一个客户端，其中，所述工艺菜单管理操作包括以下至少之一：编辑工艺菜单、新增工艺菜单、删除工艺菜单、对比至少两个工艺菜单、备份工艺菜单、基于备份的工艺菜单还原工艺菜单；

所述至少一个客户端还用于对所述第二结果进行存储、查询、显示中的至少一种操作。