[发明专利]一种基于三维环流电感的集成片上变压器

权利要求书

1.一种基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，包括自上而下依次设置的第一金属层(1)、第二金属层(2)、衬底层(3)、第三金属层(4)以及第四金属层(5)，其中，

所述第一金属层(1)包括第一金属框(101)以及设置在所述第一金属框(101)内的若干第一连接件(102)；

所述第二金属层(2)包括第二金属框(201)以及设置在所述第二金属框(201)内的若干第二连接件(202)；

所述衬底层(3)中设置有若干玻璃通孔结构(6)，若干所述玻璃通孔结构(6)排列成m*n的阵列结构，其中，m≥2，n≥2；

所述第三金属层(4)包括若干第三连接件(401)；

所述第四金属层(5)包括若干第四连接件(501)；

所述若干玻璃通孔结构(6)通过所述若干第一连接件(102)、所述若干第二连接件(202)、所述若干第三连接件(401)以及所述若干第四连接件(501)依次首尾连接，形成三维环流结构。

2.根据权利要求1所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述玻璃通孔结构(6)的个数为偶数。

3.根据权利要求2所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，每个所述玻璃通孔结构(6)沿径向方向从外向内依次包括外层金属环(601)、中间介质环(602)和内层金属柱(603)。

4.根据权利要求3所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述若干第一连接件(102)分别连接相应所述玻璃通孔结构(6)的内层金属柱(603)的上端；所述若干第四连接件(501)分别连接相应所述玻璃通孔结构(6)的内层金属柱(603)的下端，以形成内部三维环流结构。

5.根据权利要求4所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述内部三维环流结构的第一端作为所述内部三维环流结构的馈电端，所述内部三维环流结构的第二端连接所述第一金属框(101)。

6.根据权利要求3所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述若干第二连接件(202)分别连接相应所述玻璃通孔结构(6)的外层金属环(601)的上端；所述若干第三连接件(401)分别连接相应所述玻璃通孔结构(6)的外层金属环(601)的下端，以形成外部三维环流结构。

7.根据权利要求6所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述第二连接件(202)与相应所述玻璃通孔结构(6)的连接处，刻蚀有与所述中间介质环(602)等径的圆孔，以使所述中间介质环(602)和所述内层金属柱(603)的上端穿过；

所述第三连接件(401)与相应所述玻璃通孔结构(6)的连接处，刻蚀有与所述中间介质环(602)等径的圆孔，以使所述中间介质环(602)和所述内层金属柱(603)的下端穿过。

8.根据权利要求7所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述外部三维环流结构的第一端作为所述外部三维环流结构的馈电端，所述外部三维环流结构的第二端连接所述第二金属框(201)。

9.根据权利要求1所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述第一金属层(1)与所述第二金属层(2)之间设置有第一介质层(7)，所述第一介质层(7)上开设有若干通孔，所述通孔的位置与所述玻璃通孔结构(6)的位置对应，以使所述玻璃通孔结构(6)穿过。

10.根据权利要求1所述的基于三维环流电感的集成片上变压器，其特征在于，所述第三金属层(4)与所述第四金属层(5)之间设置有第二介质层(8)，所述第二介质层(8)上开设有若干通孔，所述通孔的位置与所述玻璃通孔结构(6)的位置对应，以使所述玻璃通孔结构(6)穿过。