[发明专利]过渡金属氧化物在光热电探测器中的应用在审
申请号: | 201911194607.7 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN112864301A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 姜鹏;万雪颖;包信和 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01L35/28 | 分类号: | H01L35/28;H01L35/14 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 毛薇;李馨 |
地址: | 116000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 过渡 金属 氧化物 热电 探测器 中的 应用 | ||
本发明提供了一种过渡金属氧化物在光热电探测器中的应用方法。与传统的光电探测器相比,本发明所制作的光热电探测器具有超宽带的波谱响应、结构简单、稳定性高、灵敏度高等优点,并且原料储备广,成本低,在光探测领域极具应用价值。
技术领域
本发明属于光热电探测领域,具体涉及过渡金属氧化物在光热电探测器中的应用。
背景技术
光电探测器在民用和军用等领域具有广泛的用途:在可见光至近红外波段,主要可用于探测、工业自动控制和光度计等;在红外波段可用于红外遥感、红外热成像和导弹制导等方面。光电探测器可以将光信号转换成电信号输出,根据工作原理可以分为光子探测器和热探测器两大类。光子探测器通常采用的是半导体材料,由于受带隙限制,所探测的波长范围有限。而热探测器虽然不受波长限制,但是通常结构复杂,需要内置电源、制冷单元等,因此只能在特殊场景下应用。光热电探测器则是基于热电效应,材料吸收光能从而产生温差,再由塞贝克效应(Seebeck effect:V=-S·ΔT,其中V为输出电压,S为Seebeck系数,ΔT为两端温差)转换成电信号输出。与传统的光探测器相比,光热电探测器不受波长限制,也不需要复杂的内置电源和制冷单元。目前已经商业化的探测器是采用传统的热电材料薄膜,组成阵列结构进行探测。该类探测器加工工艺复杂,成本高,而且对于远红外波段探测响应较慢,灵敏度低。
相对于传统热电材料,过渡金属氧化物具有稳定性高、制备简单、成本低等优点。过渡金属氧化物的ZT值普遍偏低,但是具远高于传统热电材料的塞贝克系数(CuO:600μV/K,Cu2O:1050μV/K,ZnO:450μV/K,MnO2:980μV/K;传统碲化铋基合金热电材料的塞贝克系数仅为100-250μV/K),在一定温度梯度存在时,会有较大的响应电压,因此在光热电探测领域具有很好的应用前景。
发明内容
本发明目的在于提供一种响应波谱范围宽、灵敏度高、结构简单、成本低的光热电探测器。利用热电效应进行从深紫外到远红外波段的光探测。具体采取如下技术方案:
本发明一方面提供一种过渡金属氧化物在光热电探测器中的应用,所述过渡金属氧化物作为光热电探测器的探测材料。
基于以上技术方案,优选的,过渡金属元素和氧元素的化合物,其化学式可表示为MxOy(其中M为过渡金属原子,O为氧原子,例如CuO、Cu2O、TiO2、V2O5、Fe2O3、Co3O4、MnO2、Cr2O3)。
本发明还提供一种光热电探测器,所述光热电探测器的探测材料为过渡金属氧化物。
基于以上技术方案,优选的,所述探测材料的制备方法为:将过渡金属金属氧化物粉末通过热压、放电等离子烧结处理得到块体结构的探测材料。
基于以上技术方案,优选的,所述探测材料的形状为条形块体。响应度的大小可以通过调节过渡金属氧化物块体尺寸来调节:氧化物长度越长,响应度越高,响应时间越长;氧化物宽度越窄,响应度越高,响应时间越短;氧化物厚度越薄,响应度越高,响应时间越短。
基于以上技术方案,优选的,所述光热电探测器还包括电极、绝缘底座、绝缘支架、导线、电压表;所述的,所述探测材料置于绝缘底座上;所述绝缘支架设置于光热电材料和绝缘底座之间;所述探测材料的两端分别固定电极,电极与导线连接,导线串接电压表。光源照射在探测材料和金属电极的接触处,探测材料吸收光能升温,与另一端形成温差,由塞贝克效应转化为电压信号输出,响应电压方向与温差建立方向垂直。
基于以上技术方案,优选的,所述绝缘支架为半支撑绝缘支架或全支撑绝缘支架。全支撑即为探测材料和绝缘支架完全接触,半支撑为探测材料仅有一端与绝缘支架接触。
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