[发明专利]一种高温透明柔性的电加热膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201911191038.0 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110944418B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 宋伟杰;王肇肇;李佳;黄金华;杨晔 | 申请（专利权）人： | 宁波材料所杭州湾研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H05B3/84 | 分类号： | H05B3/84 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315336 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 透明 柔性 加热 及其 制备 方法 | ||
1.一种高温透明柔性的电加热膜，包括自下而上依次设置的柔性透明基底层、底部介电层、金属层和顶部介电层，其特征在于，所述的底部介电层和顶部介电层为金属氧化物；所述的金属层为SnO2掺杂的Ag层，所述的金属层的厚度为6~12nm，所述的金属层中Sn原子占金属原子的百分比为1%~10%。
2.根据权利要求1所述的高温透明柔性的电加热膜，其特征在于，所述的金属层中Sn原子占金属原子的百分比为2%~4%。
3.根据权利要求1所述的高温透明柔性的电加热膜，其特征在于，所述的底部介电层和顶部介电层选自AZO、ATO、ZTO、SnOx中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的高温透明柔性的电加热膜，其特征在于，所述的柔性透明基底层为PI、PET、PC或PEF。
5.根据权利要求1所述的高温透明柔性的电加热膜，其特征在于，所述的底部介电层和顶部介电层的厚度均为30~50nm。
6.根据权利要求5所述的高温透明柔性的电加热膜，其特征在于，所述的底部介电层和顶部介电层的厚度均为35~45nm，所述的金属层的厚度为9~11nm。
7.根据权利要求1~6任一项所述的电加热膜的制备方法，其特征在于，包括：在柔性透明基底层上，先利用金属氧化物靶材在室温下射频磁控溅射沉积底部介电层，再在室温下利用Ag靶材和SnO2靶材通过直流磁控溅射沉积超薄金属层，最后再利用金属氧化物靶材在室温下射频磁控溅射沉积顶部介电层后得到。
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