[发明专利]多路独立进气系统

说明书

本发明揭示了一种多路独立进气系统，包括气路架台，还包括固定设置于所述气路架台上的气路机构，所述气路机构包括一根与外接实验设备相连通的气路主管路以及多根与所述气路主管路相连通、用于存储及输送待进样样品的进气支管路，多根所述进气支管路间相互独立，所述气路主管路还管路连接有用于实现管路抽真空的真空泵组，所述真空泵组固定设置于所述气路架台上。本发明能够方便地进行高纯度气体或液体样品地制备，还可以快捷地进行切换操作，免除了现有设备使用过程中频繁换样所造成的不便。

技术领域

本发明涉及一种进气系统，尤其涉及一种在超高真空环境下科学实验中使用的多路独立进气系统，属于真空科研设备领域。

背景技术

超高真空设备系统是进行超高真空实验中不可或缺的重要硬件基础，其一般由真空泵、真空计、真空腔体及其它元件并借助于真空管道，按一定要求组合而成。以保证在一定的空间内获得并保持特定真空环境、确保某项工艺过程或物理过程在真空系统内实施，在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。

具体而言，在科学实验的过程中，为了满足相应的实验需求，经常有需要向实验环境内注入某种高纯度的气体或者液体样品。例如在气氛下加热样品、在样品上吸附特定的分子、制备分子束反应物等等。在进行高纯度样品的制备时，排除杂质对实验的干扰是能够开展这些科学实验操作的基本前提，因此，为了满足这类制备实验的操作需求，对操作设备的真空度及密封性就提出了很高的要求。

另外，在许多的科学实验中，需要进行对比实验、以研究不同的气体或者液体样品对实验结果的不同影响。因此，这也就需要在不改变其他实验条件的情况下，分别向实验环境内注入不同的样品分子，且需要保证这几种样品分子间不会互相污染、影响实验结果。这样一来，无疑也对操作设备的规格和功能提出了更高的要求。

综上所述，如何在提出一种在超高真空环境下科学实验中使用的多路独立进气系统，以满足各类科学实验的多方面要求，就成为本领域内技术人员所亟待解决的问题。

发明内容

鉴于现有技术存在上述缺陷，本发明的目的是提出一种多路独立进气系统，包括气路架台，还包括固定设置于所述气路架台上的气路机构，所述气路机构包括一根与外接实验设备相连通的气路主管路以及多根与所述气路主管路相连通、用于存储及输送待进样样品的进气支管路，多根所述进气支管路间相互独立，所述气路主管路还管路连接有用于实现管路抽真空的真空泵组，所述真空泵组固定设置于所述气路架台上。

优选地，所述气路架台包括架台底座以及架台主体，所述架台底座的上端面与所述架台主体固定连接、所述架台底座的下端面固定设置有多个便于位置移动的万向轮，所述气路机构与所述架台主体固定连接。

优选地，所述气路机构还包括一根抽气支管路，所述抽气支管路的两端与所述气路主管路的两端相连通，所述抽气支管路上固定设置有用于控制气路开关、调节气流大小的管路密封阀以及用于对气路进样进行控制的气动阀。

优选地，所述气路主管路为一圆柱形腔体，所述气路主管路的一侧管口与外接实验设备相连接、所述气路主管路的另一侧管口连接有用于保证管体密封的密封法兰；所述气路主管路的管体中段位置等距设置有多个进气支路接口，所述进气支路接口的数量、规格与所述进气支管路的数量、规格一一匹配对应，所述进气支路接口借助连接法兰与所述进气支管路相连通；所述气路主管路的管体两端位置分别设置有一个抽气支路接口，所述抽气支路接口借助连接法兰与所述抽气支管路相连通。

优选地，所述气路主管路的管体上还开设有两个功能接口，其中一个所述功能接口固定连接有一个用于测量整个气路真空度的全量程规，另外一个所述功能接口固定连接有一个三通接头，所述三通接头的另外两端分别连接有两个全金属角阀。

优选地，所述气路主管路的管体上还开设有至少一个用于管路拓展的拓展接口。