[发明专利]一种可防密封圈老化的镀膜高温设备在审
申请号: | 201911188229.1 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN110846639A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 黄勤;付平;李春锋;谢毅 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(眉山)有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 谢建 |
地址: | 620000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 密封圈 老化 镀膜 高温 设备 | ||
本发明公开了一种可防密封圈老化的镀膜高温设备,涉及太阳能电池制造技术领域,本发明包括炉管,炉管外壁设置有套设有一圈密封圈,密封圈外壁套设有冷却风管,炉管内壁设置有一圈隔热圈,本发明结构简单,同时具有隔热和冷却作用,大大降低高温对密封圈的影响,从而提高密封圈使用寿命。
技术领域
本发明涉及太阳能电池制造技术领域,更具体的是涉及一种可防密封圈老化的镀膜高温设备。
背景技术
太阳能光伏电池PECVD高温镀膜设备,由于工艺过程中炉管一直处于高温状态,温度基本在550℃左右,导致法兰与炉管起密封作用的密封圈老化严重,经常出现损坏烧焦开裂现象,该处密封圈使用寿命短,导致炉管漏气较多,耗费较大的人力物力,严重影响机台的正常运行。
故如何解决上述技术问题,对于本领域技术人员来说很有现实意义。
发明内容
本发明的目的在于:为了解决现有高温镀膜设备中炉管密封处的密封圈容易受高温影响,老化严重,经常出现损坏烧焦开裂现象而影响设备运行的技术问题,本发明提供一种可防密封圈老化的镀膜高温设备。
本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案:
一种可防密封圈老化的镀膜高温设备,包括炉管,炉管外壁设置有套设有一圈密封圈,密封圈外壁套设有冷却风管,炉管内壁设置有一圈隔热圈。
进一步地,冷却风管一端堵死,冷却风管另一端连接有压缩空气管,冷却风管上设置有有若干出气孔。
进一步地,冷却风管与压缩空气管之间连接有接头,接头上设置有压力表。
进一步地,冷却风管材质为不锈钢。
进一步地,隔热圈材质为棉。
本发明的有益效果如下:
1、本发明在炉管内壁设置一圈隔热圈,起到一定隔热作用,同时在炉管外壁的密封圈处设置冷却风管,起到一定降温作用,在隔热和降温双重作用下大大降低高温对密封圈的影响,从而延缓密封圈老化速度,大大提高其使用寿命。
2、冷却风管通过压缩空气管不断通入压缩空气,压缩空气再从出气孔出去,这个过程起到换热作用,从而将热量带出去,降温效果好。
附图说明
图1是本发明一种可防密封圈老化的镀膜高温设备的结构示意图。
附图标记:1-炉管,2-密封圈,3-冷却风管,4-隔热圈,5-压缩空气管,6-出气孔,7-接头,8-压力表。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图和实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。
实施例1
如图1所示,本实施例提供一种可防密封圈老化的镀膜高温设备,包括炉管1,炉管1外壁设置有套设有一圈密封圈2,密封圈2外壁套设有冷却风管3,炉管1内壁设置有一圈隔热圈4。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的