[发明专利]一种可防密封圈老化的镀膜高温设备在审

专利信息
申请号: 201911188229.1 申请日: 2019-11-27
公开(公告)号: CN110846639A 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 黄勤;付平;李春锋;谢毅 申请(专利权)人: 通威太阳能(眉山)有限公司
主分类号: C23C16/50 分类号: C23C16/50;H01L31/18
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 谢建
地址: 620000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 密封圈 老化 镀膜 高温 设备
【说明书】:

发明公开了一种可防密封圈老化的镀膜高温设备,涉及太阳能电池制造技术领域,本发明包括炉管,炉管外壁设置有套设有一圈密封圈,密封圈外壁套设有冷却风管,炉管内壁设置有一圈隔热圈,本发明结构简单,同时具有隔热和冷却作用,大大降低高温对密封圈的影响,从而提高密封圈使用寿命。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域,更具体的是涉及一种可防密封圈老化的镀膜高温设备。

背景技术

太阳能光伏电池PECVD高温镀膜设备,由于工艺过程中炉管一直处于高温状态,温度基本在550℃左右,导致法兰与炉管起密封作用的密封圈老化严重,经常出现损坏烧焦开裂现象,该处密封圈使用寿命短,导致炉管漏气较多,耗费较大的人力物力,严重影响机台的正常运行。

故如何解决上述技术问题,对于本领域技术人员来说很有现实意义。

发明内容

本发明的目的在于:为了解决现有高温镀膜设备中炉管密封处的密封圈容易受高温影响,老化严重,经常出现损坏烧焦开裂现象而影响设备运行的技术问题,本发明提供一种可防密封圈老化的镀膜高温设备。

本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案:

一种可防密封圈老化的镀膜高温设备,包括炉管,炉管外壁设置有套设有一圈密封圈,密封圈外壁套设有冷却风管,炉管内壁设置有一圈隔热圈。

进一步地,冷却风管一端堵死,冷却风管另一端连接有压缩空气管,冷却风管上设置有有若干出气孔。

进一步地,冷却风管与压缩空气管之间连接有接头,接头上设置有压力表。

进一步地,冷却风管材质为不锈钢。

进一步地,隔热圈材质为棉。

本发明的有益效果如下:

1、本发明在炉管内壁设置一圈隔热圈,起到一定隔热作用,同时在炉管外壁的密封圈处设置冷却风管,起到一定降温作用,在隔热和降温双重作用下大大降低高温对密封圈的影响,从而延缓密封圈老化速度,大大提高其使用寿命。

2、冷却风管通过压缩空气管不断通入压缩空气,压缩空气再从出气孔出去,这个过程起到换热作用,从而将热量带出去,降温效果好。

附图说明

图1是本发明一种可防密封圈老化的镀膜高温设备的结构示意图。

附图标记:1-炉管,2-密封圈,3-冷却风管,4-隔热圈,5-压缩空气管,6-出气孔,7-接头,8-压力表。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图和实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。

在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。

以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。

实施例1

如图1所示,本实施例提供一种可防密封圈老化的镀膜高温设备,包括炉管1,炉管1外壁设置有套设有一圈密封圈2,密封圈2外壁套设有冷却风管3,炉管1内壁设置有一圈隔热圈4。

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