[发明专利]一种柔性控制研磨抛光用磨头

说明书

本发明公开了一种柔性控制研磨抛光用磨头，包括：动力传输组件，动力驱动结构提供原动力输出；运动传输组件，运动传输组件与动力传输组件相连接；压力传输组件，压力传输组件与动力传输组件相连接；支撑结构，动力传输组件、运动传输组件和压力传输组件分别设置在支撑结构上；该磨头通过球头杆连接抛光盘、从而将压力传递到光学元件上。本装置中抛光盘相对光学元件上下浮动一定距离、可以补偿磨头与光学元件之间的距离误差，抛光压力大小可以灵活调节、实现较稳定的抛光压力控制，特别是针对非球面和自由曲面的抛光修形，具有更好的抛光压力精度控制；本装置可以减小数控设备通过磨头传递给抛光盘的振动从而产生对抛光修形的影响。

技术领域

本发明涉及高精度光学元件加工技术领域，尤其涉及一种柔性控制研磨抛光用磨头。

背景技术

在高精度光学加工领域，光学系统中的透射或反射光学元件，一般有平面镜、球面镜、非球面镜和自由曲面镜等类型，加工过程一般经过铣磨、研磨、预抛光和精修抛光等阶段，特别是非球面镜和自由曲面镜，研磨和抛光修形过程是通过带有远比镜面尺寸小的抛光工具的磨头实现的。

在研磨或抛光过程中，磨头上的抛光盘与光学元件之间压力是一个重要的因素，压力的可控及稳定性直接决定了光学加工的精度和效率，传统的抛光盘压力一般是通过配种块的重力或抛光盘的变形来实现的，其缺点是抛光压力稳定差、压力大小不能灵活的进行控制，特别是非球面或自由曲面的加工中，由于曲面上个点的曲率半径不同，这种影响更加明显。

因此，结合现有技术中高精度光学加工的研磨或抛光过程缺陷，设计一款可以实现柔性控制的研磨或抛光用磨头，从而解决上述问题。

发明内容

针对现有技术上的问题，本发明的目的是提供一种可以实现柔性控制的研磨或抛光用磨头，实现抛光盘相对光学元件的浮动效果，达到抛光压力的精确控制和良好的稳定性，灵活调节抛光压力大小，提高光学研磨或抛光精度，提高加工收敛效率，节省加工时间。

一种柔性控制研磨抛光用磨头，包括：

动力传输组件，所述动力传输组件具有动力驱动结构和传动结构，所述动力驱动结构提供原动力输出，所述传动结构位于所述动力驱动结构的工艺下游；

运动传输组件，所述运动传输组件与所述动力传输组件相连接以接收所述动力传输组件传递的动力；

所述运动传输组件具有传动筒、轴承结构和转动结构，所述传动筒通过所述轴承结构驱动所述转动结构转动；

所述传动筒位于所述传动结构的工艺下游；

压力传输组件，所述压力传输组件与所述动力传输组件相连接以接收所述动力传输组件传递的动力；

所述压力传输组件具有动力伸缩结构和旋转结构，所述动力伸缩结构和旋转结构配合使用；

支撑结构，所述动力传输组件、运动传输组件和压力传输组件分别设置在所述支撑结构上；

球头杆，所述球头杆的直杆端与所述转动结构相连接，所述球头杆的球形端与抛光盘相连接，所述球头杆通过抛光盘将所述转动结构施加的压力传递到光学元件上。

所述动力驱动结构包括：

电机；

减速器，所述减速器与所述电机相连接。

所述传动结构包括：主动同步带轮、同步带和从动同步带轮；

所述主动同步带轮与所述减速器相连接；

进一步的，所述同步带同时套置在所述主动同步带轮和从动同步带轮上，所述主动同步带轮通过同步带驱动从动同步带轮转动；

其中，所述传动筒上端与所述从动同步带轮相连接。