[发明专利]一种成像模组及其制造方法

说明书

本发明公开了一种成像模组及其制造方法，其中成像模组包括：被移动元件；至少一支撑块，至少一支撑块围成空间，被移动元件悬挂于空间上方；分布于所述被移动元件周边的至少两压电元件，压电元件包括可动端和固定端，固定端固定于所述支撑块，可动端至少部分位于限位槽内；至少两压电元件分布于被移动元件的周边；连接臂，一端连接被移动元件，另一端连接限位槽；横向移动限位件，包括：位于连接臂两侧的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁、第二侧壁沿平行于被移动元件的径向分布；外部信号连接端，与压电元件中的电极电连接，压电元件在通电状态下，可动端通过连接臂带动被移动元件向上或向下移动。

技术领域

本发明涉及运动控制技术领域，尤其涉及一种成像模组及其制造方法。

背景技术

在一些电子终端中，通常会需要让其中的某些部件发生平移、竖直移动或者倾斜，进而实现某些特殊功能。例如目前在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过VCM马达(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜或图像传感器，在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。然而，不同于传统单反相机，在空间体积狭小的手机、微型摄像机、照相机等电子终端实现该功能，是一项巨大工程挑战。因此，期待一种控制运动的结构，使被移动部件按照理想状态移动。

发明内容

本发明的目的在于提供一种成像模组及其制造方法，能够解决成像模组体积大以及被移动元件产生横向移动的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种成像模组，包括：

被移动元件，所述被移动元件包括透镜组、成像传感元件、光圈或透镜片；

至少一支撑块，所述至少一支撑块围成空间，所述被移动元件悬挂于所述空间上方；

至少两压电元件，包括可动端和固定端，所述固定端固定于所述支撑块，所述可动端至少部分位于限位槽内；所述至少两压电元件分布于所述被移动元件的周边；

连接臂，一端连接所述被移动元件，另一端连接所述限位槽；

横向移动限位件，包括：位于所述连接臂两侧的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁、第二侧壁沿所述被移动元件的径向分布；

外部信号连接端，与所述压电元件中的电极电连接，所述压电元件在通电状态下，所述可动端通过所述连接臂带动所述被移动元件向上或向下移动。

本发明还提供了一种成像模组的制造方法，所述成像模组包括被移动元件，所述被移动元件包括：透镜组、成像传感元件、光圈或透镜片，所述方法包括：

提供基底；

在所述基底上形成至少一中间结构，所述至少一中间结构围成空间，所述被移动元件位于所述空间上方；所述中间结构包括：位于所述基底上的支撑块，包括可动端和固定端的压电元件，所述固定端固定于所述支撑块，所述可动端至少部分伸入限位槽，所述限位槽以及压电元件嵌设于牺牲层中；

在所述限位槽的表面形成连接所述限位槽的连接臂；

在所述支撑块上形成侧壁、位于所述侧壁上的上盖，所述上盖设有开口，所述连接臂从所述开口中伸出；

将所述被移动元件键合在所述连接臂上。

本发明的有益效果在于，压电元件的固定端由支撑块固定，压电元件可动端设有伸入限位槽的部分，连接臂连接限位槽和被移动元件，通过对压电元件供电，使得压电元件可动端产生向上或向下翘曲，可动端通过限位槽带动连接臂，连接臂带动被移动元件上下移动。连接臂两侧设有横向移动限位件，可以制约连接臂的横向运动，从而可以实现光学防抖。