[发明专利]一种线型蒸发源

说明书

本发明涉及显示技术领域，公开了一种线型蒸发源，该线型蒸发源包括：蒸镀坩埚，蒸镀坩埚包括呈线型的坩埚本体及位于坩埚本体上的多个喷嘴，坩埚本体包括中间区域及沿坩埚本体的延伸方向位于中间区域两侧的端部区域，多个喷嘴沿坩埚本体的延伸方向呈线型排列，多个喷嘴包括位于中间区域的中间喷嘴及位于端部区域的端部喷嘴；加热部，加热部包括第一加热器及第二加热器，第一加热器位于坩埚本体远离喷嘴一侧的周围，第二加热器包括加热器本体及放热板组件，加热器本体位于坩埚本体临近喷嘴一侧以及多个喷嘴周围，放热板组件设置于加热器本体朝向坩埚本体的表面与坩埚本体的两个端部区域对应的区域。该线型蒸发源能够解决蒸镀薄膜厚度不均匀的问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种线型蒸发源。

背景技术

为了制作有机发光二极管(OLED)显示，需要薄膜图形，这样的工艺可以通过薄膜蒸镀工艺进行。

薄膜蒸镀工艺中相对简单的工艺，即物理蒸镀法是将需要蒸镀的物质以气体状态移动至基板表面，通过从气体状态变为固体状态的物理变化，使物质蒸镀到基板表面的方法，具有可以大量生产的优点，因而广泛用于有机发光二极管显示工艺中。物理气相蒸镀可以采用线型蒸发源，一般线型蒸发源的具体结构包括蒸镀坩埚和加热部，蒸镀坩埚包括坩埚本体011以及设置于坩埚本体上的多个喷嘴012，加热部包括设置于蒸镀坩埚下部周围的第一加热器021以及设置于蒸镀坩埚上部周围的第二加热器022，如图1和图2所示。传统的物理气相蒸镀的方法为在坩埚本体内部填充有机物，使加热器对其加热，使蒸镀物质气化并升华。但是在传统的蒸镀过程中，使用加热器对蒸镀坩埚进行加热，会发生蒸镀坩埚上部中间区域与蒸镀坩埚上部两侧末端区域有温度偏差的问题，因为这样的温度不平衡使喷嘴口发生有机物的堆积，会造成喷嘴口的堵塞(clogging)现象，随之在薄膜层的形成中出现问题。

例如，假设位于坩埚本体两端区的喷嘴的温度是300度，位于坩埚本体中间区域的喷嘴的温度是320度，因有机物性质上更容易蒸镀到温度低的一侧，两侧末端喷嘴口因有机物的堆积渐渐变小，因此从坩埚喷嘴中喷出的物质的量出现差异，发生薄膜层厚度不均匀的问题。

发明内容

本发明提供了一种线型蒸发源，上述线型蒸发源能够解决蒸镀薄膜厚度不均匀的问题。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种线型蒸发源，包括：

蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括用于放置蒸镀材料的呈线型的坩埚本体以及设置于所述坩埚本体上的多个喷嘴，所述坩埚本体包括中间区域以及沿所述坩埚本体的延伸方向位于所述中间区域两侧的端部区域，多个所述喷嘴沿所述坩埚本体的延伸方向呈线型排列，多个所述喷嘴包括位于所述中间区域的中间喷嘴以及位于所述端部区域的端部喷嘴；

加热部，所述加热部包括第一加热器以及第二加热器，所述第一加热器设置于所述坩埚本体远离所述喷嘴一侧的周围，所述第二加热器包括加热器本体以及设置于所述加热器本体上的放热板组件，所述加热器本体设置于所述坩埚本体临近所述喷嘴一侧周围以及多个所述喷嘴周围，所述放热板组件设置于所述加热器本体朝向所述坩埚本体的表面与所述坩埚本体的两个端部区域对应的区域。