[发明专利]汲取器、汲取装置及涂布系统

说明书

本发明公开了一种汲取器、汲取装置及涂布系统，所述汲取器包括汲取器头、汲取口、汲取管、至少一个加压孔、以及与所述至少一个加压孔一一对应的至少一个导流通道，每一导流通道与其对应的加压孔相连通，用于导出所述加压孔内的汲取液，有效的防止了加压孔因汲取液的凝结而堵塞，从而有效的减少了工作过程中异常泄压的次数，减少宕机时间，增加产能。

技术领域

本发明涉及显示面板制程领域，尤其涉及一种汲取器、汲取装置及涂布系统。

背景技术

在TFT-LCD领域，利用涂布设备进行涂布工艺是非常重要且不可缺少的一项基础制程，涂布的效果将直接影响后续制程的结果。

目前在半导体显示技术领域，涂布设备主要由光阻、汲取管路以及口金通过狭缝组合的方式来完成涂布工艺，光阻汲取管路长期使用，会有不同程度的污染堵塞或损坏，造成涂布过程泄压异常频发，此类问题的原因之一为光阻连接头上的CDA(Compress DryAir，干燥压缩空气)孔易导入光阻，从而导致CDA孔容易因光阻凝结而堵塞。

针对此类问题，目前主要依靠产线月保养时对光阻连接头上的CDA孔进行清洗，此种方式为目前最常用的清洁方式，但未能够完全解决CDA孔被光阻堵塞的问题，而且耗费人力物力。

发明内容

本发明提供一种汲取器、汲取装置及涂布系统，能够及时去除汲取器的加压孔中的汲取液，以解决现有技术中汲取器的加压孔因汲取液凝结而堵塞的技术缺陷。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种汲取器，包括：

汲取器头；

汲取口，设置于所述汲取器头中，并贯穿所述汲取器头；

汲取管，与所述汲取口相连通；

至少一个加压孔，每一加压孔设置于所述汲取器头中，并贯穿所述汲取器头；

至少一个导流通道，所述至少一个导流通道与所述至少一个加压孔一一对应地设置在所述汲取器头靠近所述汲取管一侧，且每一加压孔与其对应的导流通道相连通。

根据本发明一优选实施例，所述汲取器头朝向所述汲取管的一侧设置有沟槽，每一加压孔通过其对应的导流通道与所述沟槽相连通。

根据本发明一优选实施例，所述沟槽为围绕所述汲取口以及所述至少一个加压孔设置的环形槽。

根据本发明一优选实施例，每一导流通道的高小于所述沟槽的深度；

每一导流通道的宽小于或等于其对应的加压孔的直径。

根据本发明一优选实施例，每一导流通道的高小于或等于1毫米。

根据本发明一优选实施例，所述至少一个加压孔包括两个加压孔，且所述两个加压孔对称设置于所述汲取口两侧。

根据本发明一优选实施例，所述汲取器头背向所述汲取管的一侧设置有与所述至少一个加压孔一一对应的至少一个导气管，每一加压孔与其对应的导气管相连通，且每一导气管用于向其对应的加压孔输入干燥的压缩空气。

根据本发明一优选实施例，所述汲取器头背向所述汲取管的一侧设置有与所述汲取口相连通的输出管，且所述输出管用于输出汲取液。

根据本发明的上述目的，提供一种汲取装置，且所述汲取装置包括用于存储汲取液的密封装置以及所述汲取器；

其中，所述密封装置上设置有与所述汲取器的汲取器头大小和形状相匹配的开口；

所述汲取器的汲取器头设置于所述开口处，所述汲取器的汲取管穿过所述开口设置于所述密封装置内，所述汲取器的加压孔通过所述开口与所述密封装置相连通。