[发明专利]基板传送头

说明书

本发明的实施例的基板传送头包括：吸附部件，构成为吸附从母基板分割的单位基板；第一边料加压部，包括：多个推杆，布置成与位于单位基板的周围的边料所占的区域对应；推板，设置有多个推杆；以及推板驱动器，使推板以使多个推杆加压边料的方式移动；以及第二边料加压部，包括：喷气喷嘴，构成为朝向单位基板的边缘部喷射气体以加压边料；以及气体供给源，构成为向喷气喷嘴供给气体，第一边料加压部和第二边料加压部中的任一个可以构成为在吸附部件吸附单位基板之前或者吸附部件吸附单位基板时加压边料，第一边料加压部和第二边料加压部中的另一个构成为加压在吸附于吸附部件的单位基板的边缘部残留的边料。

技术领域

本发明涉及构成为传送从母基板分割的单位基板的基板传送头。

背景技术

一般而言，用于显示器的各种种类的面板、半导体基板等使用从由脆性材料构成的母基板切割为预定尺寸的单位基板来制造。

为了将母基板切割为单位基板，执行划线工艺，即将由金刚石之类材料构成的划线轮加压于母基板之后，通过使划线轮沿要切割母基板的虚拟的切割计划线移动而在母基板形成划线。而且，执行断裂工艺，即沿着划线加压母基板，从而将母基板分割为单位基板。之后，执行基板传送工艺，即将通过断裂工艺从母基板分割的单位基板拿取并向后续工艺传送。

若母基板分割为单位基板，则在单位基板的至少一个边缘部存在实际不用于产品而去除掉的部分即边料(虚设部、碎茬)。这种边料应从单位基板分离，但是因多种原因，可能以附着状态残留在单位基板的边缘部。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够将边料从单位基板的边缘部可靠地分离从而防止边料残留在单位基板的边缘部的基板传送头。

用于达到上述目的的本发明的实施例的基板传送头包括：吸附部件，构成为吸附从母基板分割的单位基板；第一边料加压部，包括：多个推杆，布置成与位于单位基板的周围的边料所占的区域对应；推板，设置有多个推杆；以及推板驱动器，使推板以使多个推杆加压边料的方式使移动；以及第二边料加压部，包括：喷气喷嘴，构成为朝向单位基板的边缘部喷射气体以加压边料；以及气体供给源，构成为向喷气喷嘴供给气体，第一边料加压部和第二边料加压部中的任一个可以构成为在吸附部件吸附单位基板之前或者吸附部件吸附单位基板时加压边料，第一边料加压部和第二边料加压部中的另一个可以构成为加压在吸附于吸附部件的单位基板的边缘部残留的边料。

可以是，本发明的实施例的基板传送头还包括边料感测传感器，边料感测传感器布置于吸附部件的一侧，并检测在吸附于吸附部件的单位基板的边缘部是否存在边料。

可以是，喷气喷嘴设置成相对于与单位基板的表面正交的垂直轴倾斜，以使得向边料从单位基板隔开的方向朝向边料喷射气体。

可以是，本发明的实施例的基板传送头还包括喷嘴旋转器，喷嘴旋转器使喷气喷嘴以与正交于单位基板的垂直轴正交的水平轴为中心旋转而调节喷气喷嘴对垂直轴的倾斜角。

可以是，本发明的实施例的基板传送头还包括气体温度调节器，气体温度调节器调节从气体供给源向喷气喷嘴供给的气体的温度。

可以是，气体供给源在周期性改变气体的压力的同时向喷气喷嘴供给气体。

本发明的实施例的基板传送头具备在沿第一方向吸附而移动单位基板时对单位基板周围的边料向与第一方向相反的第二方向施加加压力的边料加压组件，由此能够将边料从单位基板的边缘部更容易且可靠地分离，从而防止边料残留在单位基板的边缘部。因此，能够防止单位基板以边料残留在单位基板的边缘部的状态向后续工艺传送的问题。另外，能够防止在单位基板向后续工艺传送的过程中，残留在单位基板的边缘部的边料掉落在不期望的场所的问题。

附图说明

图1是简要示出设置有本发明的第一实施例的基板传送头的基板切割装置的俯视图。