[发明专利]集成电路封装器件的加工装置有效
| 申请号: | 201911181316.4 | 申请日: | 2019-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN110867401B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
| 发明(设计)人: | 马磊;党鹏;杨光;彭小虎;王新刚;庞朋涛;任斌;王妙妙 | 申请(专利权)人: | 西安航思半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 苏州科旭知识产权代理事务所(普通合伙) 32697 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 710300 陕西省西安市鄠*** | 国省代码: | 陕西;61 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 集成电路 封装 器件 加工 装置 | ||
1.一种集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:包括支撑板(1)、第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)、打标器(7)和打磨机构(14),所述第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)依次连接设置于支撑板(1)的同一侧,所述打标器(7)设置于第二框架(3)上方,所述打磨机构(14)安装于第三框架(4)上方;
所述第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)各自相对的两个内壁上均安装有一电磁滑轨(5),位于第一框架(2)、第二框架(3)、第三框架(4)同一侧内壁上的电磁滑轨(5)连通,相对设置的电磁滑轨(5)之间连接有一移动块(6),所述移动块(6)上设置有若干通槽,此通槽与半导体器件卡合连接;
所述支撑板(1)相背于第二框架(3)的一侧安装有一电机(8),此电机(8)的输出轴上连接有一第一齿轮(9),所述支撑板(1)上可转动地安装有一转盘(10),所述转盘(10)相背于第二框架(3)的一侧表面上安装有一第二齿轮(11),此第二齿轮(11)与所述第一齿轮(9)啮合,所述转盘(10)的另一侧表面上安装有至少两个连接块(12),此连接块(12)均与第二框架(3)固定连接;
所述支撑板(1)上设置有一圆环形滑槽(25),此滑槽(25)内沿周向可转动地设置有若干钢珠(13),所述转盘(10)嵌入此滑槽(25)内并通过所述钢珠(13)与支撑板(1)转动连接;
所述打磨机构(14)包括顶板(141)和活动安装于顶板(141)下方的打磨头,所述顶板(141)一侧与支撑板(1)固定连接,此顶板(141)的另一侧设置有一挡板(26),此挡板(26)安装于第三框架(4)上;
所述挡板(26)上开有一风嘴(17),所述第三框架(4)下方设置有一吸尘仓(15),此吸尘仓(15)通过一第一风管(16)与所述风嘴(17)贯通连接,所述吸尘仓(15)内设置有一负压风机(23),所述第三框架(4)下方设置有一集尘板(19),此集尘板(19)上设置有一通孔(20),此通孔(20)通过一第二风管(18)与吸尘仓(15)贯通连接。
2.根据权利要求1所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述若干钢珠(13)的数目为10~20颗,此10~20颗钢珠(13)沿周向等间隔设置。
3.根据权利要求1所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述支撑板(1)上开有供转盘(10)穿过的圆形通孔。
4.根据权利要求3所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述圆环形滑槽(25)位于圆形通孔的圆周外侧。
5.根据权利要求4所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述转盘(10)的中部自圆形通孔内穿出,所述转盘(10)的周向边缘处嵌入滑槽(25)内。
6.根据权利要求1所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述通孔(20)开设于集尘板(19)的下表面。
7.根据权利要求1所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述第二风管(18)与集尘板(19)上的通孔(20)活动连接。
8.根据权利要求1所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述打磨机构(14)的顶板(141)下表面设置有横向滑轨和纵向滑轨。
9.根据权利要求1所述的集成电路封装器件的加工装置,其特征在于:所述打磨头的数目为2~6个。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安航思半导体有限公司,未经西安航思半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911181316.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





