[发明专利]具有高温脱附的控制系统及其方法

说明书

一种具有高温脱附的控制系统及其方法，主要当通过该浓度探测仪器进行探测所排放浓度的数值，且超过预设值时，则通过该可程序控制器发出信号给第二温度控制系统的第二温度控制器，让该第二温度控制器能启动该第二加热装置进行升温加热，并将通过该第一热气输送管路所输送的高温热气能通过与该第一热气输送管路所连接的一第一热气旁通管路来输送到该第二加热装置内再加热，再通过该第二热气输送管路来将加热后的高温热气输送至该吸附转轮的高温脱附区进行高温脱附，从而使所探测的排放浓度的数值能达到预设值内，而具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果。

技术领域

本发明涉及一种具有高温脱附的控制系统及其方法，尤其涉及一种具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。

目前在厂区安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备大多采用吸附转轮方式来吸附挥发性有机气体(VOC)，但在使用一段时间后，常有高沸点物质不易脱附而残留在吸附转轮上，直接影响了吸附转轮的吸附效能，因此，目前处理方式都是委托外面专业厂商来定期进行洗涤吸附转轮，以确保吸附转轮的运作效率和气流流畅度。

另外，在处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备中进入吸附转轮的脱附温度大多是先设定好，一方面是确保进入吸附转轮的脱附温度能达到脱附的效能，另一方面则是保护吸附转轮的运转功能，但是，在吸附转轮的长期运转下，必须要长期监控脱附温度，当温度太高时需要降低温度，当温度太低时需要提升温度，否则容易造成脱附效能降低，使得由该烟囱所排放的浓度上升，进而达不到原来所设定的处理效率。

因此，本发明人有鉴于上述缺陷，期望能提出一种具有自动调控温度的效能的具有高温脱附的控制系统及其方法，令使用者可轻易操作组装，是潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研发的发明动机。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种具有高温脱附的控制系统及其方法，主要当通过该浓度探测仪器进行探测所排放浓度的数值，且超过预设值时，则通过该可程序控制器发出信号给第二温度控制系统的第二温度控制器，让该第二温度控制器能启动该第二加热装置进行升温加热，并将通过该第一热气输送管路所输送的高温热气能通过与该第一热气输送管路所连接的一第一热气旁通管路来输送到该第二加热装置内再加热，再通过该第二热气输送管路来将加热后的高温热气输送至该吸附转轮的高温脱附区进行高温脱附，从而使所探测的排放浓度的数值能达到预设值内，而具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果，进而增加整体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种具有高温脱附的控制系统及其方法，通过该浓度探测仪器设有一第一探测管线及一第二探测管线，而该第一探测管线及第二探测管线具有两种的实施方式，其中第一种实施方式是该第一探测管线与该废气进气管路连接，而该第二探测管线与该烟囱连接，以能探测该废气进气管路内的有关碳氢化合物的浓度的数值，以及经过处理后要从烟囱所排放的碳氢化合物的浓度的数值。另外第二种实施方式是该第一探测管线与该废气进气管路连接，该第二探测管线与该净气排放管路连接，以能探测该废气进气管路内的有关碳氢化合物的浓度的数值，以及经过该吸附转轮的吸附区吸附后所经过该净气排放管路内的碳氢化合物的浓度的数值。从而，将未经过处理的碳氢化合物的浓度的数值与该经过处理后的碳氢化合物的浓度的数值进行判断，以作为启动该第二加热装置进行升温加热的依据，让通过该第一热气输送管路所连接的第一热气旁通管路输送过来的高温热气能进行升温加热，再送入该吸附转轮的高温脱附区进行高温脱附，且通过将进入高温脱附区的高温热气能再提升到一定温度(例如300℃)，使该吸附转轮能拥有更高温度的热气的输入，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上，进而增加整体的使用性。