[发明专利]转架及具有其的镀膜设备有效
申请号: | 201911180983.0 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN110760810B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 吴洽;聂鹏;黄志云;阮利平 | 申请(专利权)人: | 中山凯旋真空科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 李建忠;袁礼君 |
地址: | 528478 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 镀膜 设备 | ||
1.一种转架,其特征在于,包括:
第一转盘(10);
第二转盘(20),所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)相对设置,且同步可转动地设置;
转动杆(30),所述转动杆(30)穿设在所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)上,且相对于所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)可转动地设置;
第一驱动组件(40),所述第一驱动组件(40)与所述第一转盘(10)驱动连接,以驱动所述第一转盘(10)、所述第二转盘(20)以及所述转动杆(30)绕第一轴线同步转动;
第二驱动组件(50),所述第二驱动组件(50)与所述转动杆(30)驱动连接,以驱动所述转动杆(30)绕第二轴线转动;
所述转动杆(30)包括相连接的本体杆段(31)和固定轴段(32),所述转架还包括:
第一轴承座(70),所述第一轴承座(70)设置在所述第一转盘(10)上,所述本体杆段(31)设置在所述第一轴承座(70)内;
第二轴承座(80),所述第二轴承座(80)设置在所述第二转盘(20)上,所述固定轴段(32)穿过所述第二轴承座(80)后与所述第二驱动组件(50)相连接;
其中,所述本体杆段(31)与所述固定轴段(32)直接插接;
所述第一驱动组件(40)包括第一驱动电机(41),所述第一驱动电机(41)与所述第一转盘(10)驱动连接,所述第二驱动组件(50)包括第二驱动电机(51),所述第二驱动电机(51)与所述转动杆(30)驱动连接;其中,所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)可独立运行;
所述第二驱动组件(50)还包括:驱动齿轮(52),所述第二驱动电机(51)与所述驱动齿轮(52)驱动连接;自转齿轮(53),所述驱动齿轮(52)与所述自转齿轮(53)相啮合,所述自转齿轮(53)设置在所述转动杆(30)上;
所述第一转盘(10)、所述第二转盘(20)以及所述驱动齿轮(52)的中心线与所述第一轴线均相重合;所述自转齿轮(53)的中心线与所述第二轴线相重合;
所述第二驱动电机(51)的转速大于等于所述第一驱动电机(41)的转速,以在所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)同步运行,且转速相等时,所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动;或,在所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)同步运行,且所述第二驱动电机(51)的转速大于所述第一驱动电机(41)的转速时,所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动的同时,绕所述第二轴线转动。
2.根据权利要求1所述的转架,其特征在于,所述自转齿轮(53)为多个,多个所述自转齿轮(53)沿所述驱动齿轮(52)的周向方向间隔设置,所述转动杆(30)为多个,多个所述转动杆(30)与多个所述自转齿轮(53)一一相对应地设置。
3.根据权利要求1所述的转架,其特征在于,所述第一驱动组件(40)还包括第一驱动轴(42),所述第一驱动电机(41)与所述第一驱动轴(42)的一端相连接,所述第一驱动轴(42)的另一端与所述第一转盘(10)相连接,所述第二驱动组件(50)还包括第二驱动轴(54),所述第二驱动电机(51)与所述第二驱动轴(54)的一端相连接,所述第二驱动轴(54)的另一端与所述驱动齿轮(52)相连接;
其中,当所述第一驱动电机(41)运行时,所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动的同时,绕所述第二轴线转动;当所述第二驱动电机(51)运行时,所述转动杆(30)绕所述第二轴线转动;当所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)同步运行时,所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动的同时,绕所述第二轴线转动,或所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的转架,其特征在于,所述转架还包括:
固定杆(60),所述固定杆(60)的两端分别连接所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20),以使所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)同步可转动地设置。
5.一种镀膜设备,其特征在于,包括权利要求1至4中任一项所述的转架和镀膜设备本体,所述转架放置在所述镀膜设备本体内。
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