[发明专利]一种位移传感器

权利要求书

1.一种位移传感器，其特征在于，其包括传感器探头和电路模块，所述传感器探头与所述电路模块电连接且相互分隔设置，二者分别在液氮温区环境和室温环境下工作，所述传感器探头由基于PCB板的线圈组件构成，所述线圈组件包括一组位于中心的激励线圈及分布在所述激励线圈四周特征对称且差动工作的感应线圈组；

所述传感器探头上设有用于容纳待测转轴的容置空间，所述待测转轴穿过所述容置空间与所述传感器探头非接触式连接，所述容置空间为所述PCB板上沿所述激励线圈内侧所开的通孔，所述通孔的直径大于所述待测转轴的直径。

2.如权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述电路模块包括驱动电路和信号处理电路，所述驱动电路与所述激励线圈连接，所述驱动电路用于向激励线圈提供激励信号；所述信号处理电路与所述感应线圈连接，所述信号处理电路用于将从所述感应线圈感应到的信号进行处理。

3.如权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述电路模块通过低温屏蔽线与所述传感器探头连接。

4.如权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述感应线圈组包括第一感应线圈组和第二感应线圈组，所述第一感应线圈组包括相对设置的两个感应线圈，所述第二感应线圈组包括相对设置的两个感应线圈；所述第一感应线圈组和所述第二感应线圈组的感应线圈交错分布。

5.如权利要求4所述的位移传感器，其特征在于，所述第一感应线圈组的两感应线圈特征对称且差动工作，所述第二感应线圈组的两感应线圈特征对称且差动工作。

6.如权利要求2所述的位移传感器，其特征在于，所述信号处理电路包括第一检波器、第二检波器、第一低通滤波器、第二低通滤波器、差分放大器和偏置电路，同一个所述感应线圈组中的一感应线圈与所述第一检波器连接，所述第一检波器还与所述第一低通滤波器连接；同一个所述感应线圈组中的另一感应线圈与所述第二检波器连接，所述第二检波器还与所述第二低通滤波器连接；所述第一低通滤波器和所述第二低通滤波器分别与所述差分放大器连接；所述差分放大器与所述偏置电路连接。

7.如权利要求6所述的位移传感器，其特征在于，所述第一检波器和所述第二检波器为二极管峰值检波电路；所述第一低通滤波器为二阶巴特沃斯滤波器；所述差分放大器及所述偏置电路均为减法运算电路。

8.如权利要求1-7任一项所述的位移传感器，其特征在于，所述线圈组件集成在PCB树脂基板上。