[发明专利]一种催化膜的制备方法

权利要求书

1.一种催化膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：将陶瓷膜放入原子层沉积设备反应腔内，在陶瓷膜上沉积二氧化钛涂层，制备TiO₂改性的陶瓷膜；

步骤二：将TiO₂改性的陶瓷膜放入管式炉内煅烧，制备TiO₂煅烧改性的陶瓷膜；

步骤三：将TiO₂煅烧改性的陶瓷膜放入原子层沉积设备反应腔内，沉积Pd纳米颗粒，得到Pd催化膜；

步骤二中所述的煅烧条件为：在氢气体积分数为10%的氢氩混合气氛下，以2-3℃/min升温速率升高至400-475℃， 煅烧120-210min。

2.根据权利要求1所述的催化膜制备方法，其特征在于，所述陶瓷膜为片式氧化铝陶瓷膜，孔径为1 -3.5µm，厚度为1.5 -3mm。

3.根据权利要求1所述的催化膜制备方法，其特征在于，步骤一中陶瓷膜上二氧化钛的沉积温度为100-150℃；采用四氯化钛和水作为前驱体，四氯化钛的脉冲时间为0.03-0.06s，曝光时间为10-30s，清扫时间为20-60s；水的脉冲时间为0.06-0.12s，曝光时间为10-30s，清扫时间为20-60s；循环次数为10-50。

4.根据权利要求1所述的催化膜制备方法，其特征在于，步骤三中Pd活性组分的沉积温度为200℃；沉积活性组分Pd所用的前驱体为六氟乙酰丙酮钯和甲醛浓度为37%的福尔马林溶液。

5.根据权利要求4所述的催化膜制备方法，其特征在于，所述六氟乙酰丙酮钯温度为80℃，福尔马林为常温，六氟乙酰丙酮钯的脉冲时间为0.3-1s，曝光时间为80-150s，清扫时间为100-150s；福尔马林前驱体的脉冲时间为0.6-2s，曝光时间为80-150s、清扫时间为100-150s；循环次数为2-80。

6.根据权利要求1所述的催化膜制备方法，其特征在于，所述陶瓷膜厚度为1.75mm，孔径为2.5µm， 沉积二氧化钛采用常温四氯化钛和水，四氯化钛脉冲时间、曝光时间和清扫时间分别为0.06s、10s和20s，水的脉冲时间、曝光时间和清扫时间分别为0.12s、10s和20s；二氧化钛循环次数为10；经TiO₂改性的陶瓷膜在TL1200管式炉内的煅烧温度为450℃，升温速率为2℃/min ，煅烧时间为120min；Pd活性组分的沉积温度为200℃，沉积活性组分Pd所用的前驱体为80℃的六氟乙酰丙酮钯和常温福尔马林溶液，六氟乙酰丙酮钯的脉冲时间、曝光时间、清扫时间分被为0.5s、120s、100s，福尔马林的脉冲时间、曝光时间、清扫时间分被为1s、120s、100s；循环次数为64。

7.采用权利要求1-6任意一项所述方法制备的催化膜在流通式膜反应装置中的应用。

8.根据权利要求7所述应用，其特征在于，所述催化膜在反应结束后进行回收，回收方法为将催化膜用清水冲洗5秒以上。