[发明专利]介质筒

权利要求书

1.一种工艺腔室，其特征在于，包括主筒、副陶瓷筒和腔体，所述主筒位于所述腔体顶部，所述副陶瓷筒位于所述主筒与所述腔体之间，所述主筒通过所述副陶瓷筒与所述腔体连通；所述主筒外围环绕设置有线圈；所述副陶瓷筒固定连接于所述腔体，且所述副陶瓷筒上设置有边缘进气嘴，所述副陶瓷筒还包括一筒状导流结构，所述筒状导流结构的侧壁向内倾斜或者朝远离所述筒状导流结构的轴线的方向凸起，以使流入所述筒状导流结构的气体能够紧贴所述筒状导流结构的内壁流动。

2.根据权利要求1所述的工艺腔室，其特征在于，所述筒状导流结构包括第一部和第二部；所述副陶瓷筒中的气流自所述第一部的入口端流入所述筒状导流结构；

所述第二部的入口端与所述第一部的出口端连接。

3.根据权利要求2所述的工艺腔室，其特征在于，所述第一部是圆柱筒。

4.根据权利要求2所述的工艺腔室，其特征在于，所述第一部包括两段式子筒结构：第一子部、第二子部；所述第一子部的出口端与所述第二子部的入口端相连通；所述第一子部是圆柱筒。

5.根据权利要求4所述的工艺腔室，其特征在于，所述第二子部的筒壁朝外侧凸起，且弯曲延伸形成两端内径小，中间内径大的凸圆形筒。

6.根据权利要求4所述的工艺腔室，其特征在于，所述第二子部的筒壁朝内侧倾斜，且向下倾斜延伸形成倒锥形筒。

7.根据权利要求2或3所述的工艺腔室，其特征在于，所述第二部的侧壁外围环绕设置有线圈。

8.根据权利要求2或3所述的工艺腔室，其特征在于，所述第一部和所述第二部的轴向长度的比例为1：1。

9.根据权利要求4-6任意一项所述的工艺腔室，其特征在于，所述第一子部、所述第二子部和所述第二部的轴向长度的比例为1：1：1。