[发明专利]抛光力控制柔性抛光工具

权利要求书

1.一种抛光力控制柔性抛光工具，其特征在于该抛光工具包括柔性工具(1)、夹头座(2)、连接板(3)、减速机(4)、伺服电机(5)、机架(6)、力传感器(7)和力控系统(8)；

所述的柔性工具(1)由夹具(1a)、弹性层(1b)和抛光革(1c)组成,所述的夹具(1a)用于连接所述的夹头座(2)和弹性层(1b)；弹性层(1b)为球冠结构，材料是高弹性体，加工过程中提供弹性变形，调整接触范围，并保证加工过程中抛光革与加工元件贴合；抛光革(1c)为球面结构，材料是聚氨酯或阻尼布；

所述的连接板(3)的材料为不锈钢，两个连接面分别与所述的减速机(4)和所述的夹头座(2)贴合；所述的连接板(3)为所述柔性工具(1)底部提供支撑；

所述的减速机(4)分别与所述的连接板(3)、所述的伺服电机(5)连接；所述的伺服电机(5)与所述的减速机(4)连接，驱动抛光工具转动；所述的机架(6)分别与所述的减速机(4)和所述的力传感器(7)连接，所述的力传感器(7)的输出端与所述的力控系统(8)的输入端相连。

2.利用要求1所述抛光力控制柔性抛光工具进行光学元件的抛光加工，特征在于该方法包括如下步骤：

1)将力控系统(8)的输出端与加工机床的输入端相连，保证力控系统(8)能实时将工具位置调节信号输出给所述的加工机床；

2)设定抛光力预定值:将抛光力预定值写入所述的力控系统(8)，进行下一步；

3)设定转速并写入所述的伺服电机(5)，开启所述的伺服电机(5)，使所述的柔性工具(1)以恒定转速旋转；

4)使用加工机床控制所述的柔性工具(1)在元件表面以规定路径移动，抛光过程中所述的力传感器(7)测试抛光过程中的抛光力，并将该抛光力的信号传输给所述的力控制系统(8)；所述的力控系统(8)实时处理抛光力信号并将所述的抛光力控制柔性抛光工具(1)加工过程中的调节移动量传输给加工机床,调节机床运动轨迹；

5)加工过程不断重复第四步，实现恒定抛光力抛光。