[发明专利]一种钢瓶自动洁净装置及其操作步骤

说明书

一种钢瓶自动洁净装置，包含真空烘箱、真空机组、置换气供应组件、放空阀、主管、系统控制柜；主管一端贯穿真空烘箱顶部进入真空烘箱内部，主管另一端与置换气供应组件的输出端连通；主管在与置换气供应组件的连通处还设有控制连通状态的充气阀；真空机组包含前级真空泵、罗茨真空泵和分子泵，前级真空泵的进气口与罗茨真空泵的排气口连通；罗茨真空泵的进气口通过第一管道与主管连通，并在第一管道上设有粗抽管道阀；分子泵的吸气口通过第二管道与主管连通，第二管道上设有真空阀；分子泵的排气口通过第三管道与罗茨真空泵进气口处连通的第一管道连通，第三管道上设有前级管道阀，放空阀设置在主管上。本发明，结构简单使用方便。

技术领域

本发明涉及钢瓶洁净技术领域，特别是一种钢瓶自动洁净装置及其操作步骤。

背景技术

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI(大规模集成电路)级，VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。储存电子气体的钢瓶也是影响电子气体纯度的重要因素之一，因此需要对钢瓶内部进行除杂处理后才能对电子气体进行储存；钢瓶内部进行除杂处理为钢瓶去水分，氮气置换，抽真空；现有的钢瓶洁净装置使用不方便，浪费人力物力。

发明内容

针对上述缺陷，本发明的目的在于提供一种钢瓶自动洁净装置，通过真空烘箱对钢瓶进行设定温度的加热，后通过真空机组对钢瓶进行抽真空，后通过置换气供应组件向钢瓶充入置换气，充入置换气的钢瓶进行设定时间的保温，后打开放空阀放空置换气，即完成对钢瓶的洁净；钢瓶洁净后从自动控制切换到手动控制，通过手动控制对钢瓶进行冷却操作，从而提高装置的灵活性；通过PLC控制器控制自动化程度高，进一步提高生产效率。

本发明采用的技术方案是：一种钢瓶自动洁净装置，包含真空烘箱、真空机组、置换气供应组件、放空阀、主管、系统控制柜；所述系统控制柜上设有控制面板，通过控制面板向其内设有的PLC控制器发出工作指令，通过PLC控制器控制真空烘箱、真空机组、置换气供应组件、放空阀工作；所述主管一端贯穿真空烘箱顶部进入真空烘箱内部，主管另一端与置换气供应组件的输出端连通；所述主管在与置换气供应组件的连通处还设有控制连通状态的充气阀；所述真空机组包含前级真空泵、罗茨真空泵和分子泵，所述前级真空泵的进气口与罗茨真空泵的排气口连通；所述罗茨真空泵的进气口通过第一管道与主管连通，并在第一管道上设有粗抽管道阀、电阻真空计；所述分子泵的吸气口通过第二管道与主管连通，并在第二管道上设有真空阀、电离规管；所述分子泵的排气口通过第三管道与罗茨真空泵进气口处连通的第一管道连通，并在第三管道上设有前级管道阀；所述放空阀设置在主管上，主管在位于真空烘箱顶部外的部分还设有压力传感器，通过压力传感器接收充气压力并反馈充气压力给PLC控制器。

所述主管位于真空烘箱内的端部连接有不锈钢软管，通过不锈钢软管方便与放置在真空烘箱内的钢瓶集装格上设有的与钢瓶连通的连接管连接。

所述主管在位于真空烘箱顶部的部分还设有分管，分管端部贯穿真空烘箱的顶部进入真空烘箱内部，并在端部连接有不锈钢软管，通过分管使得真空烘箱内可以放置两个钢瓶集装格，进一步提高工作效率。

所述主管在位于真空烘箱顶部外的部分还设有压力表，通过压力表实时提供获得的压力值。

所述置换气供应组件包含气源罐，气源罐上设有出口；所述气源罐内设有至少一个气瓶，气瓶内设置有置换气，所述置换气为氮气或氩气或其它惰性气体；所述气瓶上设有出气口，并通过出气口上设置有控制阀控制出气状态；气瓶通过出气口上连通的管道穿过出口与主管连通。

所述气源罐内设有三个气瓶，一个气瓶内设置有氮气，一个气瓶内设置有氩气，一个气瓶内设置有备用气体，所述备用气体为除氮气、氩气外的惰性气体。