[发明专利]零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法

说明书

本发明公开了一种零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法，该零部件集成装配误差测量装置包括：上托盘、下托盘、粗调机构、微调机构和位移传感器，粗调机构，设置在上托盘和下托盘之间，粗调机构被配置为能够伸长或缩短以调节上托盘和下托盘之间的距离，粗调机构还被配置为能够转动解耦，以调节下托盘的水平度；微调机构设置在下托盘上，位移传感器设置在微调机构上，微调机构能够带动位移传感器在上托盘和下托盘之间移动。上述的零部件集成装配误差测量装置能够提高浸没头安装误差的测量精度及测量效率，有利于提高光刻设备产率。相应地，本发明还提供一种装配误差调整方法。

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法。

背景技术

浸没式成像系统广泛应用于光刻物镜领域，在浸没式成像系统中，为解决系统工作过程中液体的动态密封问题，在物镜前端需要安装浸没头，浸没头在实现对液体动态密封的同时，与物镜的相对安装位置还需要满足一定的预设精度要求。一般地，浸没头集成安装在物镜的主基板上，传统技术中通过人工采用深度尺测量浸没头与主基板的垂向距离以判断浸没头与物镜的安装位置是否符合预设精度要求，如果安装位置不符合预设精度要求存在安装误差，则通过修磨垫片调整浸没头与主基板之间的安装误差，直至浸没头与物镜的安装位置符合预设精度要求。然而，由于浸没双台光刻机中浸没头组件与硅片微动承片台垂向高度很小，并且浸没头组件与物镜底部的间隙狭小，人工测量浸没头与主基板的垂向距离操作难度大、严重影响浸没头安装误差测量的精度及测量效率。

发明内容

本发明的目的在于提出一种零部件集成装配误差测量装置及装配误差调整方法，能够提高浸没头安装误差的测量精度及测量效率。

为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：

一种零部件集成装配误差测量装置，包括：上托盘、下托盘、粗调机构、微调机构和位移传感器，粗调机构，设置在所述上托盘和所述下托盘之间，所述粗调机构被配置为能够伸长或缩短以调节所述上托盘和所述下托盘之间的距离，所述粗调机构还被配置为能够转动解耦，以调节所述下托盘的水平度；所述微调机构设置在所述下托盘上，所述位移传感器设置在所述微调机构上，所述微调机构能够带动所述位移传感器在所述上托盘和所述下托盘之间移动。

在其中一个实施例中，所述粗调机构包括解耦安装座、第一球窝垫片、紧固套筒、套筒螺母、底拖、第二球窝垫片、球形垫片、锁紧螺母和螺杆，所述解耦安装座与所述上托盘连接，所述螺杆一端与所述解耦安装座连接，另一端与所述下托盘连接，所述锁紧螺母与所述螺杆螺纹连接，且所述锁紧螺母与所述解耦安装座间隔设置，所述紧固套筒套接于所述螺杆外侧，且所述紧固套筒位于所述解耦安装座和所述锁紧螺母之间，所述套筒螺母套设于所述紧固套筒外侧，所述第一球窝垫片设置在所述紧固套筒与所述解耦安装座之间，所述底拖、所述第二球窝垫片和所述球形垫片由上至下依次设置在所述紧固套筒和所述锁紧螺母之间。

在其中一个实施例中，所述微调机构包括传感器底座、滑槽型套筒和螺纹差动机构，所述滑槽型套筒与所述螺纹差动机构连接，所述传感器底座部分插入所述滑槽型套筒内与所述螺纹差动机构连接。

在其中一个实施例中，螺纹差动机构包括固定螺母座、移动螺母座和差动螺栓，所述固定螺母座与所述滑槽型套筒连接，所述移动螺母座设置在所述滑槽型套筒内，且所述移动螺母座与所述传感器底座连接，所述差动螺栓包括依次连接的第一螺纹部和第二螺纹部，所述第一螺纹部的螺纹导程大于所述第二螺纹部的螺纹导程，所述第一螺纹部与所述固定螺母座螺纹连接，所述第二螺纹部与所述移动螺母座螺纹连接。

在其中一个实施例中，所述微调机构还包括导向滚珠，所述导向滚珠设置在所述传感器底座与所述滑槽型套筒之间。

在其中一个实施例中，其特征在于，所述位移传感器为激光位移传感器。

在其中一个实施例中，所述位移传感器为电涡流传感器。