[发明专利]基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置及工作方法

权利要求书

1.基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，其特征在于，包括：扩束准直光路模块、达曼波带片模块、待测微槽、傅里叶透镜和图像搜集模块，扩束准直光路模块产生平行光经过达曼波带片模块产生轴向多个等强度的光斑，光斑经过待测微槽产生反射光，反射光通过傅里叶透镜汇聚到图像收集模块进行采集处理。

2.根据权利要求1所述的基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，其特征在于，所述达曼波带片模块包括达曼波带片和聚焦透镜，所述达曼波带片与聚焦透镜共轴放置。

3.根据权利要求2所述的基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，其特征在于，所述聚焦透镜为消相差聚焦透镜。

4.根据权利要求1所述的基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，其特征在于，所述扩束准直光路模块包括点光源、显微物镜、针孔滤波器和准直透镜，点光源产生的光束通过显微物镜聚集于针孔滤波器，通过针孔滤波器滤波后的光束经过准直透镜变成均匀的平行光。

5.根据权利要求3所述的基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，其特征在于，所述点光源为波长为CCD的光谱响应范围内的任一波段的光源。

6.根据权利要求1所述的基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，其特征在于，所述图像收集模块包括CCD相机和计算机，所述CCD相机与计算机连接。

7.基于权利要求1～6所述的基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)打开点光源的开关，发出光束；

2)光束通过显微物镜进行扩束；

3)扩束的光点通过针孔滤波器滤掉散杂光，滤波后的光束经过准直透镜变成均匀的平行光；

4)平行光依次通过达曼波带片和聚焦透镜后产生多个等强度的光斑；

5)多个等强度光斑分布于待测微槽表面，光斑经过待测微槽产生反射光，反射光通过傅里叶透镜会聚到CCD相机中；

6)CCD相机将采集到的图像信息传输至计算机，并通过计算机显示及处理。