[发明专利]一种区域滤光片的镀膜方法及应用

说明书

本发明提供了一种区域滤光片的镀膜方法及应用，在镀膜基片其中一单面通过丝印保护油墨遮住遮挡区域，在玻璃基片单面除此遮挡区域之外(镀膜区域)进行区域镀膜，待镀膜完成之后，要求镀膜片达到相应的光学要求，然后清洗遮挡区域并去除保护油墨，使得同一基片不同区域，有不同的光学特性。本发明通过在镀膜基片的遮挡区域上丝印保护油墨，然后在镀膜区域再进行区域镀膜，此镀膜区域精度高，工艺流程简单，生产成本低。

技术领域

本发明涉及光学器件的制备技术领域，尤其是指一种区域滤光片的镀膜方法及应用。

背景技术

区域滤波片作为激光器的核心部件，在指定区域使用介质材料(Ta2O5,SiO2)镀制45度消偏振的光学薄膜，使同一基片不同区域能同时通过和反射同一波段范围内的激光，光源从该区域滤波片通过后具有高亮度、色饱和度和对比度，画面色彩始终亮丽如新等特征，应用在激光投影和激光雷达领域。

激光投影技术采用蓝、绿、红三色激光作为光源，激光光源具有亮度高、色域广等特点，通过在激光器中加入区域镀膜片，可以实现丰富的色彩、更广的色域覆盖率、高的饱和度、更好的颜色表现力、和更出色的色彩还原能力。

激光雷达LiDAR是激光探测和测距系统的统称，是一种通过位置、距离、角度等测量数据直接获取对象表面点三维坐标，实现地表信息提取和三维场景重建的对地观测技术，被应用于无人机侦查和无人驾驶等领域。通过在激光雷达的光路中加入区域镀膜镜片，可以使激光准确发射和接受，实现精确的位置测量。

常规工艺生产的区域滤光片区域精度无法满足要求，指定区域成膜采用分开镀制后拼装完成，或采用治具遮挡等方法操作，导致区域中间存在缝隙，过渡区域边缘粗糙，误差大，极易产产生不可去除的脏污、点子；区域缝隙，尺寸误差，精度低等问题容易导致通激光时出现漏光、串色、色彩不鲜艳、有杂光、表面脏污点子，在通激光时会造成激光打在点子上不透光而烧坏激光器。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明目的在于提供一种区域滤光片的镀膜方法，通过在镀膜基片的遮挡区域上丝印保护油墨然后在镀膜区域再进行区域镀膜，此镀膜区域精度高，工艺流程简单，生产成本低。为实现上述之目的，本发明采取如下技术方案：

(二)技术方案

一种区域滤光片的镀膜方法，在镀膜基片其中一单面通过丝印保护油墨遮住遮挡区域，在镀膜基片单面除此遮挡区域之外(镀膜区域)进行区域镀膜镀膜，待镀膜完成之后，要求镀膜片达到相应的光学要求，然后清洗遮挡区域并去除保护油墨。

进一步，在镀膜基片进行丝印保护油墨之前对镀膜基片双面分别单独进行镀膜，待镀膜完成之后，要求镀膜片要达到相应的光学要求。

进一步，包括以下步骤：

(1)基片清洗：将玻璃基片用清洗剂和去离子水超声清洗，去除玻璃表面的脏污；

(2)镀膜A面：通过真空镀膜或溅射镀膜，使基片的A面达到相应的光学要求；

(3)镀膜片清洗：用清洗剂溶液或水溶液，将镀膜片表面脏污去除；

(4)镀膜B面：通过真空镀膜或溅射镀膜，使基片的B面达到相应的光学要求；

(5)镀膜片清洗:用清洗剂溶液或水溶液，将镀膜片表面脏污去除；

(6)丝印：在基片B面的遮挡区域丝印保护油墨，起到遮挡作用；

(7)擦片：通过自动清洗、自动擦片机或手工擦片，将镀膜片表面脏污去除；

(8)区域镀膜：通过真空镀膜或溅射镀膜，使基片的B面镀膜区域达到相应的光学要求；

(9)清洗：用自来水和去离子水超声清洗，去除镀膜片B面遮挡区域的保护油墨和镀膜片的表面脏污。