[发明专利]一种芯片硅生产使用的二级研磨设备

权利要求书

1.一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）为矩形状，所述底板（1）底面四角均固接有矩形状的支撑杆（38），所述底板（1）底面下方设有矩形状的支撑板（2），所述支撑板（2）两侧面两端均与对应支撑杆（38）一侧面固接，所述支撑板（2）顶面一端设有配电箱（22），所述支撑板（2）顶面另一端设有鼓风机（4），所述鼓风机（4）的出气口固接有导气管（5），所述底板（1）底面中部转动连接有旋转轴（20），所述旋转轴（20）中部固接有从动齿轮（21），所述旋转轴（20）顶部固接支撑盘（19），所述支撑盘（19）顶面中部固接有第一电动推杆（17），所述第一电动推杆（17）的活动端固接有圆形的下研磨盘（15），所述从动齿轮（21）一侧啮合有主动齿轮（18），所述主动齿轮（18）固定在转动轴（16）下端，所述转动轴（16）底端与支撑板（2）转动连接，所述底板（1）一端顶面和中部均设有沿宽度方向设有矩形状的限位板（24），所述底板（1）一端顶面设有平移电机（23），所述底板（1）另一端顶面固接有圆柱形的支撑柱（3），所述支撑柱（3）顶端固接有矩形状的固定板（6），所述固定板（6）一端底面设有表面检测灯（8），所述固定板（6）底面中部固接有固定杆（10），所述固定杆（10）下端固接有固定框（12），所述固定框（12）内设有转动电机（11），所述固定板（6）底面中部一侧设有吹尘枪（9），所述吹尘枪（9）的进气口与导气管（5）的出气口固接，所述转动电机（11）的电机轴底端固接有圆形的上研磨盘（14），所述转动电机（11）的电机轴与转动轴（16）传动连接，所述底板（1）顶面一侧设有丝杠（25）、另一侧设有圆柱形的滑杆（26），所述丝杠（25）两端均对应限位板（24）一端侧面转动连接，所述滑杆（26）两端均与对应限位板（24）一端侧面固接，所述丝杠（25）上螺旋连接有矩形状的平移板（27），所述平移板（27）另一端套设在滑杆（26）上，所述平移板（27）顶面设有U形的夹持框（30），所述夹持框（30）一端侧面铰接有矩形状的定位板（32），所述底板（1）一端顶面设有椭圆形的开口，所述上研磨盘（14）和下研磨盘（15）均位于开口一端上方；

所述平移板（27）顶面设有第二电动推杆（28），所述第二电动推杆（28）活动端固接有矩形状的连接块（29），所述连接块（29）内设有连接轴承，所述连接块（29）一侧面设有限位销（37），所述夹持框（30）一侧面中部固接圆柱形的连接杆，所述连接杆另一端与连接轴承内壁固接，所述连接杆上设有圆形的限位孔，所述限位销（37）内端位于限位孔内，所述平移板（27）一端沿长度方向设有丝杠螺母，所述丝杠螺母与丝杠（25）螺旋连接，所述平移板（27）另一端沿长度方向设有圆形的通孔，所述滑杆（26）位于通孔内；

所述夹持框（30）一端侧面设有定位螺孔，所述定位板（32）一侧面设有定位螺杆（36），所述定位螺杆（36）与定位螺孔螺旋连接，所述夹持框（30）每一侧内表面均凹设有矩形状的放置槽，每个放置槽内底面均固接有矩形状的下夹持板（34），每块下夹持板（34）一端顶面均设有支撑弹簧（35），每根支撑弹簧（35）另一端均固接有上夹持板（33），所述夹持框（30）每一侧顶面中部均设有紧固螺杆（31），每根紧固螺杆（31）内端均与对应上夹持板（33）顶面接触，所述定位板（32）内表面中部设有矩形状的限位槽，所述限位槽两侧面均设有限位开口。

2.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备，其特征在于：所述旋转轴（20）底端固接有旋转轴承，所述支撑板（2）底面中部设有圆形的固定槽，所述旋转轴承与固定槽内壁固接。

3.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备，其特征在于：所述所述转动轴（16）顶端固接从动皮带轮，所述转动电机（11）的电机轴上端固接有主动皮带轮，所述主动皮带轮与从动皮带轮通过皮带（13）传动连接，所述支撑板（2）顶面中部一侧设有支撑轴承，所述转动轴（16）底端与支撑轴承内壁固接，所述底板（1）顶面设有限位轴承，所述转动轴（16）中部外壁与限位轴承内壁固接。

4.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备，其特征在于：固定板（6）底面一端固定连接杆（7），所述连接杆（7）下端设有矩形状的安装槽，所述表面检测灯（8）顶面固接有矩形状的固定块，所述固定块位于安装槽内、且通过螺栓固接。